Цехановска

Номер патента: 203076

Опубликовано: 01.01.1967

Авторы: Ковалевский, Таллинский, Цехановска, Черновский

МПК: H01L 21/68

Метки: загрузки, кассета, сплавов, электродных

...области полупроводниковой пластины сначала эмиттерных, а затем, после их вплав ления, базовых электродов, ее трафарет содержит углубления, соответствующие конфигурации меза - области, высотой не менее высоты вплавленного электрода, и сквозные отверстия на периферии, равные диаметру за гружаемого электрода. В известных кассетах дляродных навесок трафареты и е отверстия круглого сечения.Предлагаемая кассета позволяет загружать на активные меза - области полупроводниковой пластины сначала эмиттерные, а затем, после их вплавления, базовые электроды. Для этого трафарет имеет углубления, соответствующие конфигурации меза - области, высотой не менее высоты вплавленного электрода, и сквозные отверстия на периферии, равные диаметру загружаемого...