Кассета для загрузки электродных сплавов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 203076
Авторы: Ковалевский, Таллинский, Цехановска, Черновский
Текст
203076 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКС А 7 ф .;с.,ЕТЕЛЬСТВУ Сокз Советских Социалистических РеспубликЦОЕООЮттаз" т.О- О .ио,те;,идетельст висимое от авт.явлено 25.Х 11.19693499626-25 Кл, 21 о, 11/02 явки М рисоединением 01 итет Комитет по деламобретений и открыт.1967, Бюллетень20 пу Ол икова при Совете Министров СССРТаллинский радиотехнический завод им. Х. Пегельмана итель ТРОДНЫХ СПЛАВО АССЕТА ДЛЯ ЗАГРУ 2 методом фотолитоэлектролитическимНа трафарет насго сплава, и кассе5 но-поступательноеной плоскости, Прив отверстия трафаррином на пластинемается, и пластина0 При последующейдов б все операциицей, что пластина 1дыше 2 с поворотопервоначального по5 ленные эмиттерныев углублениях ната. загрузки электмеют сквозны ледующим ы эмиттерноя в возврат- горизонтальзакатываются уются глицея рамка сниа вплавление, вых электрос той разниется на вклаотносительноэтом вплавоказываютсяоне трафарезобра наПредмет изобретенияКассета для загрузки электродных сплавов 20 в производстве вплавных диффузионных триодов, содержащая трафарет, отяичаощаяся тем, что, с целью загрузки на активные меза - области полупроводниковой пластины сначала эмиттерных, а затем, после их вплав ления, базовых электродов, ее трафарет содержит углубления, соответствующие конфигурации меза - области, высотой не менее высоты вплавленного электрода, и сквозные отверстия на периферии, равные диаметру за гружаемого электрода. В известных кассетах дляродных навесок трафареты и е отверстия круглого сечения.Предлагаемая кассета позволяет загружать на активные меза - области полупроводниковой пластины сначала эмиттерные, а затем, после их вплавления, базовые электроды. Для этого трафарет имеет углубления, соответствующие конфигурации меза - области, высотой не менее высоты вплавленного электрода, и сквозные отверстия на периферии, равные диаметру загружаемого электрода.На фиг. 1 и жена описываемая кассета, общий вид фиг. 2 - кассета в разрезе.Пластина 1 из полупроводникового материала с предварительно выделенными в виде меза активными областями коллектора и нанесенной пленкой глицерина, размещенная на подвижном вкладыше 2, удерживается на основании 3 кассеты при помощи вакуума, На кассету устанавливается юстировочная рамка (на чертежах не показана) и под микроскопом путем перемещения вкладыша 2 меза - области на пластине 1 совмещаются с их изображением на визирном стекле, Юстировочная рамка снимается, и на ее место ставится загрузочная рамка 4 с трафаретом 5. Трафарет изготовляется из молибдена графин с птравлением.ыпаются шарта приводнтсдвижение вэтом шарыета и фиксирЗагрузочнапередается нзагрузке базоповторяютсяустанавливам на 180ложения. Приэлектроды 7обратной стор2 О 3076Фиг 2 едактор Р. Чистова Техрсд Л. Я. Бриккер Корректорвп И. Л, Кирилловаи М. П. Ромашова Заказ 384 В 2 Тираж 535 Подписно НИИПИ Комитета по делам пзобретешй и открытий при Совете Министров СССР Москва, Центр, пр. Серова, д. 4Типография. ".р, Сапунова, 2
СмотретьЗаявка
934996
О. Е. Цехановска А. Познанский, В. К. Черновский, В. П. Ковалевский, Таллинский радиотехнический завод Пегельмана
МПК / Метки
МПК: H01L 21/68
Метки: загрузки, кассета, сплавов, электродных
Опубликовано: 01.01.1967
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-203076-kasseta-dlya-zagruzki-ehlektrodnykh-splavov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Кассета для загрузки электродных сплавов</a>
Предыдущий патент: Диэлектрический материал для пленочных конденсаторов постоянной емкости
Следующий патент: Устройство для ориентации полупроводниковыхтриодов
Случайный патент: Денситометр