C23C 14/44 — с применением высоких частот и дополнительного постоянного напряжения
Устройство для нанесения покрытий в вакууме
Номер патента: 826761
Опубликовано: 30.06.1994
Авторы: Дударчик, Кривонощенко, Селифанов, Точицкий
МПК: C23C 14/44
Метки: вакууме, нанесения, покрытий
1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ, содержащее осесимметричную формирующую систему, состоящую из полого электрода и средства для возбуждения магнитного поля, встречно расположенные плазменные ускорители, систему питания и подложкодержатель, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий, плазменные ускорители смещены относительно оси формирующей системы и установлены под углом к ней.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что величина угла составляет 30-150o.