Бозаджиев

Растровый электронный микроскоп

Загрузка...

Номер патента: 524258

Опубликовано: 05.08.1976

Авторы: Безлюдный, Бозаджиев, Гурин, Капличный, Кисель, Кобыляков, Лялько, Шуляк

МПК: H01J 37/26

Метки: микроскоп, растровый, электронный

...увеличиваетпервичноеизображениев электронных лучах (аналогично просвечивающему электронному микроскопу),Сформированное линзой б первичное изображение сканируется системой 7 синхронно со сканированием, проводимым отклоняющей системой 4, носканирование происходит в противоположных направлениях как по строкам, так и по кадру.Промежуточной 8 и проекционной 9 линзами формируется конечное электронное изображение, которое раскладывается на элементы электронногоизображения в плоскости регистрации 12 с помощью повторного сканирования, осуществляемогоотклоняющей системой 7, относительно неподвиж -ной диафрагмы 11. Величина элементов элекронно -го изображения определяется диаметром неподвия -ной диафрагмы 11 и общим увеличением линз...