Берсене

Номер патента: 271669

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Берсене, Дер, Куликов

МПК: H01J 3/14

Метки: bj-vgtzua, е-тот, жш-ц

...слоя. Главныелучи всех пучков, исходящих из выходной поверхности шаблона, сходятся в одну точку, которая совпадает с главной плоскостью уменьшающей линзы 4 (или системы линз) и рас положена на общей оси симметрии шаблонаи линзы. В этой же плоскости расположена апертурная диафрагма 5, цен-р отверстия ко.торой находится также на общей оси симмет.рии шаблона и линзовой системы. Лпертур ная диафрагма ограничивает одновременновсс пучки, исходящие от шаблона и позволяет этим сформировать четкое уменьшенное изоб,ражение перфораций шаблона 2. Стигматор 3 устраняет астигматпзм изображающей систе мы. То, что апертурная диафрагма установлена в центре сферической поверхности шаблона и в главной плоскости линзовой уменьшающей системы,...