Е-тот, -, жш-ц: bj-vgtzua

ОПИСАНИ Е 271669ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт, свидетельства М Кл, 21 д, 37/20 Заявлено 15,7111.1968 ( 1264564/18-10) с присоединением заявки ЛЪ МПК Н 011 3/14УДК 778.317(088.8) ПриоритетОпубликовано 26.т.1970. Бюллетень М 18 Дата опубликования описания 11 Х 1.1970 Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРГ. В. Дер-Шварц, Ю, В. Куликов и В. И. Берсенев. р:Л:.".":;":.-." Лвторыизобретения Заявитель КОРПУСКУЛЯРНО-ОПТИЧЕСКИЙ ПРОЕКТОР ДЛЯ ОТОБРАЖЕНИЯ БОЛЬШИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ПЕРФОРИРОВАННЫХ ШАБЛОНОВДанное изобретение относится к электронно-оптическим приборам, используемым для формирования изображений с помощью управляемых пучков заряженных частиц.Известные приборы, например, типа электронно- или иопнооптических проекторов для отображения поьерхностей перфорированных шаблонов не позволяют воспроиззодить изображение в измененном масштабе с высоким разрешением по всему полю изображения.В предложенном устройстве для повышения разрешающей способности его по всему полю изображения перфорированный шаблон выполнен в виде части сферического слоя, центр которого совпадает с центром отверстия апертурной диафрагмы, установленный в главной плоскости линзовой системы на общей осп симметрии шаблона и линзы. На фиг. 1, 2 представлена принципиальная схема устройства.Оно содержит источник заряженных частиц определенной массы и энергии (на черт. не показан), систему 1, формирующую сходящиеся пучки, перфорированный шаблон 2, стигматор 3, магнитную или электрическую линзу 4 (систему линз), диафрагму 5 и субстрат б.Из источника, создающего поток заряженных частиц определенной массы и энергии, частицы попадают в систему 1 формирования,которая придает потоку коническую форму. В той части, в которой этст сходящийся конический поток част.щ имеет большое свечение, установлен перфорированный шаблон 2, вы полненный в виде сферического слоя. Главныелучи всех пучков, исходящих из выходной поверхности шаблона, сходятся в одну точку, которая совпадает с главной плоскостью уменьшающей линзы 4 (или системы линз) и рас положена на общей оси симметрии шаблонаи линзы. В этой же плоскости расположена апертурная диафрагма 5, цен-р отверстия ко.торой находится также на общей оси симмет.рии шаблона и линзовой системы. Лпертур ная диафрагма ограничивает одновременновсс пучки, исходящие от шаблона и позволяет этим сформировать четкое уменьшенное изоб,ражение перфораций шаблона 2. Стигматор 3 устраняет астигматпзм изображающей систе мы. То, что апертурная диафрагма установлена в центре сферической поверхности шаблона и в главной плоскости линзовой уменьшающей системы, дает возможность получить хорошее разрешение по всему полю изображе ния шаблона. а облучение потоком заряженных частиц одновременно всей поверхности шаблона - возможность обеспечить ток большой плотности. Для создания потока заряженных частиц определенной массы можно ис пользовать термокатод или ионный источник,271669 ие Составитель М, И, ИлленкоТехред 3. Н, Тараненко Корректоры: В. Петроваи А, Николаева дактор Т. В. Данилова Подписное Министров СССР480открытийсап пао д ри Сов 45 Типографии, пр. Сапунов составной частью которого является магнитный сепаратор. Система формирования сходящегося потока заряженных частиц может быть реализована, например, в виде конденсор ной линзы (фиг, 2). В качестве источника электронов можно использовать протяженный термокатод сферической формы, концентричный и соосный шаблону 2. В этом случае катод и шаблон, между которыми приложено ускоряющес напряжение, образуют систему формирования сходящегося пучка. Предлагаемое устройство может быть использовано для нанесения информации на субстрат, введения примесей в полупроводники, для получения химических соединений на поверхности субстрата и т. д,аказ 3034/12 Тираж НИИПИ Комитета по делам изобретений иМосква, К, Раушс Предмет изобретения Корпускулярно-оптический проектор для отооражения больших поверхностей перфорированных шаблонов, содержащий источник заряженных частиц определенной массы и энергии, систему для формирования сходящегося пучка заряженных частиц, перфорированный шаблон, линзовую систему, стигматор и субстрат, на котором воспроизводится отображаемая поверхность шаблона, отличаюи 1 нтсся тем, что, с целью повышения разрешающей способности устройства по всему полю изображения, перфорированный шаблон выполнен в виде части сферического слоя, центр которого совпадаег с центром отверстия апертурной диафрагмы, установленной в главной плоскости линзовой системы на общей оси симметрии шаблона и линзы.