Ангилов

Номер патента: 1574698

Опубликовано: 30.06.1990

Авторы: Ангилов, Белоусов, Исаев, Михайлов, Потоков

МПК: C30B 23/08

Метки: молекулярно-лучевой, эпитаксии

...этом на внешней боковой поверхности криопанели 2 находятся в основном соединения группы В(АЯ,Р), а на внутренней поверхности - как соединения группы Аз (ба, 1 п), так и соединения группы Вь(АБ, Р), и соединения АзВь. Из криопанелей 2 при помощи газообразного подогретого до 40 - 100 С азота удаляют жидкий хладагент, В дополнительную криопанель 3 непрерывно заливают жидкий хладагент. Включают нагреватель 6, блок молекулярных источников 5, внешние нагреватели ростовой камеры 1, средства 19 и прогревают камеру роста 1 до 100 - 200 С. Давление в камере 1 поддерживают при помощи средства 19 и путем сорбции на охлажденную поверхность дополнительной криопанели 3 при непрерывной заливке жидкого хлад- агента.Включается при помощи ЭВМ 49 черезблок...