Амальская
Способ определения рекомбинационных параметров полупроводниковых материалов
Номер патента: 1356901
Опубликовано: 20.12.1995
Авторы: Амальская, Гамарц, Ганичев, Стафеев
МПК: G01R 31/26, H01L 21/66
Метки: параметров, полупроводниковых, рекомбинационных
1. СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РЕКОМБИНАЦИОННЫХ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ, включающий облучение образца модулированным по интенсивности возбуждающим излучением с длиной волны из области межзонного поглощения исследуемого материала, облучение возбужденной области полупроводника зондирующим излучением с длиной волны из области поглощения свободными носителями заряда, измерение относительного изменения интенсивности прошедшего через образец зондирующего излучения и определение эффективного времени жизни * расчетным путем, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности раздельного определения объемного времени жизни to и скорости поверхностной...