Акопджанова

Номер патента: 186001

Опубликовано: 01.01.1966

Авторы: Акопджанова, Бондаренко, Букреев, Данилина, Лаврищев

МПК: H01C 17/00

Метки: термостойких, тонкопленочных

...25 химическое т В основном авт. св.171044 описан способ изготовления термостойких тонкопленочных сопротивлений для микросхем, выполненных на плоской нагретой ситалловой подложке, термическим испарением металлосилицидного сплава в вакууме через маску.По предложенному способу металлосилицидиый сплав наносится на подлокку сплошным слоем. Затем путем избирательного химического травления нанесенному слого придается требуемая конфигурация сопротивления. Это значительно уменьшает градиент температуры вдоль подложки.Сущность описываемого способа состоит в следующем.Резистивный слой наносят на плоскую ситалловуго подлокку термическим испарением металлосилицидного сплава в ьакууме сплошным слоем (без применения маски и маскодержателя). После...