Патенты с меткой «жидкостнойэпитаксии»

Номер патента: 823474

Опубликовано: 23.04.1981

Авторы: Белобоков, Васильковский, Мурнев, Томашевский

МПК: C30B 19/06

Метки: жидкостнойэпитаксии, полупроводниковыхматериалов, термообработки

...сприводными валами 9 и 11 и расположены в термостатирующей щели 18.Посредством приводов 10 и 12 осуще"ствляется поворот йриводных валов Я9,11.и вместе с ними подвижных частей кассеты. Так осуществляется поочередный .перенос к гнездам основания кассеты эпитаксиальных растворов,находящихся в гнездах подвижных час-" у тей кассеты. После заполнения гнездкассеты осуществляется эпитаксия очередного слоя полупрбводниковой монокристаллической структуры. Тепловаятруба 3 с нагревателем 6 защищенатермоизолирующим устройством 7, герметично соединенным с ее Фланцем.Тепловая труба 1 с нагревателем 5защищена теплоизолирующим устройством 8, герметично соединенным с еефланцем. По периметру соединенияфланцев тепловых труб 1 и 3, образуется...