Патенты с меткой «вторично-ионной»

Номер патента: 708794

Опубликовано: 15.11.1986

Авторы: Арифов, Джемилев, Курбанов

МПК: G01N 27/62, H01J 49/26

Метки: вторично-ионной, масс-спектрометрии, твердого, тела

...элемента пропорционально амплитуде вторичногоионного тока.На фиг. 4 показана зависимостьраспределения по тощине слоев литияс эквивалентной толщиной 0,35, 0,72 40и 1,3 монослоя от времени бомбардировки ионами неона с энергией 13 кэВи плотностью тока на мишень 0,5х 0, 109 А/см . 1 ак видно,для представ-ленных кривых характерно экспоненци-. 45альное уменьшение интенсивности ионов 1 Эти результаты свидетельствуют о том, что осажденный слой лития присутствует только на поверхности пленки меди. Особенно это хорошо наблюдается для слоя с эквивалентной толщиной 0,35 монослоя. Однако дпя кривых 11 и 111 (эквивалентнаятолщина 0,72 и 1,3 монослоя) выходионов перестает меняться приблизительно после 200 и 340 с бомбардиров.ки соответственно,...