Способ определения спектральной характеристики чувствительности твердотельной фоточувствительной схемы

Номер патента: 1485938

Авторы: Китаев, Костюков, Кузнецов, Марков

Описание

Способ определения спектральной характеристики чувствительности твердотельной фоточувствительной схемы, включающий измерение отклика схемы на облучение ее фоточувствительной области излучением с различными длинами волн, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности определения спектральной характеристики чувствительности схемы как в процессе изготовления, так и после него, в качестве отклика используют спектр отражения фоточувствительной области исследуемой схемы или тестовой полупроводниковой пластины, созданной в едином технологическом процессе с исследуемой схемой при формировании ее фоточувствительной области, дополнительно измеряют спектр отражения фоточувствительной области и спектральную характеристику чувствительности контрольной схемы, причем облучают контрольную и исследуемую схемы одним и тем же излучением, а спектральную характеристику чувствительности исследуемой схемы вычисляют по формуле

где S - спектральная характеристика чувствительности исследуемой схемы;
- коэффициент отражения фоточувствительной области исследуемой схемы;
Sк - спектральная характеристика чувствительности контрольной схемы;
к - коэффициент отражения фоточувствительной области контрольной схемы.

Заявка

4067971/25, 15.05.1986

Китаев В. М, Костюков Е. В, Кузнецов Ю. А, Марков А. Н

МПК / Метки

МПК: H01L 21/66

Метки: спектральной, схемы, твердотельной, фоточувствительной, характеристики, чувствительности

Опубликовано: 27.01.2003

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1485938-sposob-opredeleniya-spektralnojj-kharakteristiki-chuvstvitelnosti-tverdotelnojj-fotochuvstvitelnojj-skhemy.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения спектральной характеристики чувствительности твердотельной фоточувствительной схемы</a>

Похожие патенты