Патенты с меткой «тонкопленочныхсхем»

Номер патента: 841071

Опубликовано: 23.06.1981

Авторы: Каганович, Максименко, Свечников

МПК: H01L 21/265

Метки: тонкопленочныхсхем

...незащищенной фоторезистом поверхности полупроводниковой пленки. 15Поток ионов, падающий на поверхностьпленки, выбивает из нее часть атомов,однако атомов шестой группы выбивается намного больше, чем второй (металлИ), в результате чего поверхность щоказывается обогащенной атомами второй группы и поверхностное сопротивление резко уменьшается. Таким образом,создается низкоомный слой, играющийроль электрода на поверхности высокоомного фоточувствительного материала, каким является тонкопленочные полупроводниковые соединения А ВСпособ упрощен тем, что исключаетнанесение поверх фоточувствительнойпленки металлической пленки и ее селективное травление для формированияэлектрода. Нанесение металлическойпленки на фоточувствительную приводит к...