Патенты с меткой «структурно-нарушенного»

Способ определения толщины структурно-нарушенного слоя монокристалла

Загрузка...

Номер патента: 1795358

Опубликовано: 15.02.1993

Авторы: Непийвода, Новиков, Швидкий

МПК: G01N 23/20

Метки: монокристалла, слоя, структурно-нарушенного, толщины

...Реально подобная ситуация складывается лишь при использовании20/14 7/5 Обработка алмазной пастой зернистости 8,2- 3 82- 12 9,0- 2 56,8+ 10 12 4. 30+ 735,1+ 4 45+18 Толщина нарушенного слоя, измеренная аз шаю им способом, мкм Толщина нарушенного слоя, полученная 42,4. 5заявляемым способом, мкм Составитель Т. ВладимироваРедактор В.Трубченко Техред М.Моргентал Корректор С.Патр, шева Заказ 426 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина, 101. сравнительно малых толщин нарушенных слоев. В случае кремния на медном излучении при отражении от плоскости (1 И)линейность от Ь зависимости...