Патенты с меткой «шаблонов»
Способ изготовления хромовых шаблонов
Номер патента: 1577555
Опубликовано: 20.01.1996
Авторы: Алейникова, Николенков, Сутырин, Хриткин
МПК: G03F 1/00, G03F 7/26, H01L 21/312 ...
Метки: хромовых, шаблонов
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ХРОМОВЫХ ШАБЛОНОВ, включающий создание на поверхности заготовки шаблона защитной маски и реактивное ионно-лучевое травление пленки хрома, отличающийся тем, что, с целью улучшения оптических свойств шаблонов, реактивное ионно-лучевое травление пленки хрома проводят на 80 - 90% ее толщины, затем проводят ионно-лучевое травление в атмосфере инертного газа в течение времени t, удовлетворяющего соотношению t=(0,1-0,2) мин, где - время реактивного ионного травления пленки хрома на всю толщину, после чего осуществляют...