Патенты с меткой «rc-структур»

Номер патента: 329691

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Бондаренко, Васильева, Туфлин

МПК: H05K 3/14

Метки: rc-структур, параметрами, распределенными

...менее 300"С. 15 Спосоо изготовления КС-структур с расппеделенными параметрамп, основанный на осаждении и аиодироваиии танталовой пленки, термообработке в вакууме полученной си.стсмы тантал - пятиокись тантала и последу)ощея) напылении верхнего металлического электрода, отлпчаюцийсл тем, что, с целью ,)дсширспия фуикцпоиальиь)х возможностей 25структур, в качестве материала верхнего электрода ипользу)от высокоомный резистивный сплав, например металлосилицидньш сплав, напыляемый со скоростью не более, чем 30 1сек. Изобретение относится к технолог:и производства элементов радиоаппаратуры и может быть использовано в различных устройствах в микромиииапориом иполиеишьИзвестен способ изготовления ЯС-структур с распре;слснными и)раметрами,...