Патенты с меткой «распыляющем»
Способ определения функции распределения недиффундирующих атомов, внедряемых в твердые тела при распыляющем облучении
Номер патента: 908149
Опубликовано: 15.08.1983
МПК: G01N 27/62
Метки: атомов, внедряемых, недиффундирующих, облучении, распределения, распыляющем, твердые, тела, функции
...атомов в образец и второе для проведения послойного анализа. В следствие этого принятый за прототип способ является весьма трудоемким и требует для своего выполнения значительных затрат времени.Целью изобретения является упрощение и повышение экспрессности способа определения функции распределения недиффундирующих атомов, внедряемых при распыляющем облучении.Поставленная цель достигается тем, что в известном способе определения функции распределения недиффундирующих атомов внедряемых в твердые тела при распыляющем облучении с помощью метода ИСВИ включающего внедрение в образец атомов, функцию распределения которых необходимо определить, измеряют временную зависимость обратного потока вторичныхионов этих атомов 3(й) до его...