Патенты с меткой «пленокнеорганических»

Номер патента: 810085

Опубликовано: 28.02.1981

Авторы: Йорма, Туомо

МПК: C30B 23/08

Метки: пленокнеорганических, соединений, составных

...В не может помешать элементу В вернуться в газовую фазу. Эти чередующиеся ступени реакции повторяются до техпор, пока не будет получена необходимаятолщина соединения АВ.На фиг, 1 представлено устройство, поперечный разрез; на фиг. 2 - разрез А - А на фиг, 1.Устройство включает камеру 1, подложки 2, на которых выращивается пленка, устанавливают на диске 3, вращающемся с помощью вала 4. Под диском 3 помещают источники 5 и 6 паров, которЬе представляют собой изолированные один от другого секторы и каждый из которых рассчитан на необходи.мое давление паров элементарных компонен.тов выращиваемой пленки. При вращении диска 3 подложки 2 попеременно оказы.ваются во взаимодействии с нарами элемента А в источнике 5 и В - в источнике б, вследствие...