Патенты с меткой «планарно»
Способ изготовления мембран малогабаритных планарно эпитаксиальных преобразователей давления
Номер патента: 458720
Опубликовано: 30.01.1975
МПК: G01L 7/04
Метки: давления, малогабаритных, мембран, планарно, преобразователей, эпитаксиальных
...сообщающие полость сильфона с измеренной средой,На чертеже показан предлагаемый датчик.Датчик содержит корпус 1 со штуцером 2, сильфон 3, пружину 4, электромеханический преобразователь 5 и нагреватель б, например, электрический.Нагреватель изолирован от,внутренней полости 7 сильфона кожухом 8. В основании 9 штуцера выполнены радиальные каналы 10. Нагреватель служит одновременно ограничителем хода сильфона,Работа датчика заключается в преобразовании давления жидкой или газообразной агрессивной высокотемпературной среды в электрический выходной сигнал с помощью сильфона 3, пружины 4 и электромеханического преобразователя 5. Измеряемая среда поступает через штуцер 2 в полость 7 по части 11 штуцера и по каналам 10.Рабочее тело -...