Патенты с меткой «пирогенного»

Прессованное изделие на основе пирогенного диоксида кремния и способ его изготовления

Загрузка...

Номер патента: 1830050

Опубликовано: 23.07.1993

Авторы: Клаус, Мартин, Хелмфрид

МПК: C01B 33/12

Метки: диоксида, изделие, кремния, основе, пирогенного, прессованное

...1 в прессованные изделия,Сырые таблетки кальцинируют при температуре 200 С, после чего выдерживают в этилена, уксусной кислоты и кислорода, а также в качестве катализаторов при проведении способа гидратации этилена.Прессованные изделия в соответствии с настоящим изобретением обладают следующими преимуществами; высокой чистотой, незначительной истираемостью, высоким объемом пор, отсутствием пор менее 5 нм и содержанием только мезо- и макропор.П р и м е р ы. В качестве полученной пирогенным путем двуокиси кремния применяют двуокиси кремния со следующей физико-химической характеристикой; (см. таблицу); 1 - аэросил, 2 - поверхность по БЭТ, 3 - средний размер первичных частиц, 4 - плотность после уплотнения , 5 - потери1)при сушке (в...

Устройство для пирогенного окисления полупроводниковых пластин

Загрузка...

Номер патента: 1795827

Опубликовано: 20.12.1995

Авторы: Баранов, Грачев, Гройсман, Загрядский

МПК: H01L 21/316

Метки: окисления, пирогенного, пластин, полупроводниковых

...движения продуктов сгорания водорода в кислороде вдоль реакто ра.Сущность изобретения заключается втом, что реактор разделен на камеру окисления, расположенную в рабочей зоне нагревателя, и камеру сгорания, в которой З 0 происходит взаимодействие Н 2 с 02, Камерасгорания расположена относительно нагревателя таким образом, что та ее часть, которая снабжена трубками для подачи водорода и кислорода находится внутри наЭ 5 гревателя с температурой не менее температуры самовоспламенения водорода, а остальная - за пределами нагревателя и снабжена воздушной рубашкой охлаждения, Обе камеры, окисления и сгорания, соф 0 единены переходной трубкой, ось которойнаправлена под углом к продольной оси реактора, Наличие воздушной рубашки охлаждения...