Патенты с меткой «моп-конденсатор»

Номер патента: 1773205

Опубликовано: 30.10.1994

Авторы: Алешин, Андреев, Кононенко, Краснов, Сушко, Тарасов, Тузовский

МПК: H01G 4/06

Метки: моп-конденсатор, тонкопленочный

ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ МОП-КОНДЕНСАТОР, содержащий основание из материала на основе кремния, размещенную на нем обкладку из низкоомного монокристаллического кремния и металлическую обкладку, между которыми расположен слой диэлектрика из двуокиси кремния, и контакты к обкладкам, отличающийся тем, что с целью повышения надежности и добротности, в качестве материала основания использован поликремний, обкладка из низкоомного монокристаллического кремния выполнена в виде локальной области приповерхностного слоя поликремниевого основания, изолированной от него слоем двуокиси кремния, причем контакты к обкладкам размещены за пределами локальной области приповерхностного слоя.