Патенты с меткой «монокристллличёских»

Номер патента: 382174

Опубликовано: 05.01.1974

МПК: H01L 21/463

Метки: вскрытия, интегральных, кремния, монокристллличёских, островков, сносов, структурр, схем

...Ратшска 51 иаб., д, 45двлоярословеикоя городсяоя ти 1 огдв 1 ия Килтгясяого оолдстиого уирдвлсниа ив,твтсльсто, ир.тигрвфии и кви:Кио 1 торговли В(,1 цчиид усилия, огредед 5 емя из указдииого соотношения, достаточна для выирямлсиия исе 1)ИВлеций струетуры и ис ириюдцт и се разрушению. После того, как ириложсо усилие и структуры выирямлецы, ие ЗДКРСИ,5110 Г В ЭТО) ИО,ОЖСИИИ.С 1) Метмр 1 иослс соили(1)овки ир дети" с ски состоит цз одиородиого слоя иоликрцстдлличесеого крсмиця с вклочииями от- ,СЛЬ 1 ЫХ Е РИС 1 Д.1,ОВ, ИЗО(1 ИРОВЯИИЬХ ДИЭ,1(Е- трцком. 11 аиряженця в структуре, сущсствующис зд счет различной величины смиератури,1); наиряжсицй слоев, снимаются после искры гчя моиоерисалли чески)( островков. Посл( сошлифовки структуры не...