Патенты с меткой «микросхемijcli»

Номер патента: 250235

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Институт, Костышин, Михайловска, Скуридин

МПК: H05K 3/02

Метки: 5hj3iiftgt, микросхемijcli

...способы изготовления микросхем, основанные на вакуумном напылении на подложку материалов, изменяющих свои параметры под действием света, и проектировании на подложку изображения микросхемы.Цель изобретения - повышение стабильности параметров схемы. Достигается это тем, что на подложку одновременно напыляют аурипигмент (Аз,Зз) и серебро (Ад), а после напыления закрепляют изображение схемы, совмещая проектирование изображения с нагревом подложки.В вакууме порядка 110 4 - 1 10 е мм рт, ст. при температуре 300 - 310 С одновременно напыляют аурипигмент со скоростью 1 - 2 насек и серебро со скоростью 0,1 - 0,5 нм(сек до получения общей толщины слоя порядка 100 в 100 нм.После напыления проектируют на полученный слой изображения элементов...