Патенты с меткой «мезотаксиальных»

Номер патента: 1795821

Опубликовано: 10.10.1995

Авторы: Гумаров, Петухов, Хайбуллин

МПК: H01L 21/265

Метки: дисилицида, кобальта, кремнии, мезотаксиальных, слоев

...тем, что визвестном способе получения мезотаксиального дисилицида кобальта в кремнии, включающем ионную бомбардировку монокристаллического кремния ионами кобаль та, процесс бомбардировки осуществляютпри плотности ионного тока, превышающей 30 мкА/см, Предложенное техническое ре- .шение обеспечивает возможность создания специального условия для получения мезо таксиального слоя непосредственно во время бомбардировки, Таким условием является повышение средней за период сканировавния ионного пучка плотности ионного тока ) до значений выше 30 мкА/см.40 Такое увеличение ) приводит во-первых, квозрастанию температуры облучаемой подложки и, во-вторых, к повышению плотности радиационных дефектов в приповерхностном слоем, Оба приведенных...