Патенты с меткой «мдп-структуре»

Номер патента: 1632293

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Гольдман, Ждан, Пономарев

МПК: H01L 21/66

Метки: заряда, локализованного, мдп-структуре, характеристик

Способ определения характеристик локализованного заряда в МДП-структуре, включающий подачу изменяемого напряжения смещения Vg на МДП-структуру, одновременное измерение зависимостей низкочастотной Cнч и высокочастотный Cвч емкостей от напряжения смещения Vg, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности определения координаты центроида локализованного заряда Zс.лок, по измеренной зависимости Cвч от Vg определяют первую производную высокочастотной емкости по напряжению смещения при различных напряжениях смещения , устанавливают скорость...