Патенты с меткой «мдм-структур»
Способ изготовления мдм-структур с n-образной характеристикой
Номер патента: 1120880
Опубликовано: 30.10.1994
Авторы: Говядинов, Григоришин, Кухновец, Сидоренко
МПК: H01L 21/306
Метки: мдм-структур, н-образной, характеристикой
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МДМ-СТРУКТУР С N-ОБРАЗНОЙ ХАРАКТЕРИСТИКОЙ, включающий формирование на алюминиевой пластине пористого диэлектрического слоя, электролитическое осаждение металла в поры, напыление контактного электрода, отличающийся тем, что, с целью повышения качества МДМ-структур за счет исключения возможности образования мостов проводимости, перед осаждением металла в поры дополнительно образуют барьерный слой в нерастворяющем электролите, причем потенциал анодирования в нем должен превышать амплитуду переменного напряжения осаждения металла на величину 0 < U 4B.