Патенты с меткой «кремниевыхпластин»

Номер патента: 796196

Опубликовано: 15.01.1981

Авторы: Бротиковский, Маркачева, Павлушкин, Ходаковская, Чернцов

МПК: C03C 3/10

Метки: защиты, кремниевыхпластин, стекло

...для покрытия5 кремния при температурах ниже 600 С. 2К недостаткам йзвестных стекол относятся высокие значения коэффициента линейного термического расширения (КЛТР) и малый температурный интервал использования защитного покрытия.Цель изобретения - снижение КЛТР стекла.Предлагаемая цель достигается тем, что стекло, включающее 8(0, В О, А( ОЗ, РЬО, гпО, содержит указанные компоненты в следующем соотношении, масс.%:8(0 з 30 - 42В 20 3 2 - 104 - 15РЬО 35 - 45гпО 8 - 15 Конкретные составы стекол приведены в табл.1.39,9 35,1 35,9 38,8 44,6 32,2 Состюитель М, ШойтовТехред Н. Граб Корректор Н. Бабинец Редактор Е. Кинив Заказ 9699/34 Тираж 529 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений. и открытий 113035, Москва, Ж,...