Стекло для защиты кремниевыхпластин
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 796196
Авторы: Бротиковский, Маркачева, Павлушкин, Ходаковская, Чернцов
Текст
Союз СоветскихСоциалистическихреспублик ОП АНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ и 796196 К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУао аелам извбрвтеиий и етерытий(7 Заявитель Московский ордена Ленина н ордена Трудового КрасногоЗнамени химико-технологический институт им. Д. И. Менделеева(54) СТЕКЛО ДЛЯ ЗАЩИТЫ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН Таблица 1 Составы, масс.% Окислы 8(Оз ВзОз 42,0 32,0 31,5 6,50,0 5,8 30,9 8,3 35,8 5,8 30,0 2,0 Изобретение относится к составам стекол для производства защитного покрытия полупро. водниковых устройств.Известно стекло 1), используемое в качестве покрытия полупроводниковых устройств, включающее РЬО, ВО, .гпО, 8(Оз, А 10 в сле 5 дующих количествах, мол.%: РЬО 50 - 66; В О 4,5 - 22; гпО 6 - 15,5; 8(02 3 - 21; А 10 6 - 155.Наиболее близким по технической сущности н достигаемому результату к предлагаемому10 изобретению является стекло 21, используемое в качестве покрытия по кремнию, следующего состава, вес,%: РЬО 65 - 90; гпО 0 - 15; ВВОЗ 5 - 30; 8(0 0 - 20; А 1 00 - 15. Известное стекло имеет ТКЛР в пределах, (42 - 55) 10 7 гради используется для покрытия5 кремния при температурах ниже 600 С. 2К недостаткам йзвестных стекол относятся высокие значения коэффициента линейного термического расширения (КЛТР) и малый температурный интервал использования защитного покрытия.Цель изобретения - снижение КЛТР стекла.Предлагаемая цель достигается тем, что стекло, включающее 8(0, В О, А( ОЗ, РЬО, гпО, содержит указанные компоненты в следующем соотношении, масс.%:8(0 з 30 - 42В 20 3 2 - 104 - 15РЬО 35 - 45гпО 8 - 15 Конкретные составы стекол приведены в табл.1.39,9 35,1 35,9 38,8 44,6 32,2 Состюитель М, ШойтовТехред Н. Граб Корректор Н. Бабинец Редактор Е. Кинив Заказ 9699/34 Тираж 529 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений. и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Эти составы варятся при температуре 1500 С в печах любой конструкции в условиях окислительной среды. В табл. 2 приведены свойства стекол. Предлагаемый состав стекла для защитного , покрытия поверхности кремниевых полупроводников имеет низкие значения КЛТР и может использоваться в широком температурном интервале (до 850 С). Использование полученных стекол для пассивации выводов р-и переходовкремниевых полупроводников позволяет заме.нить дорогостоящий корпус из цветного металла на.более дешевый. Формула изобретения Стекло. для защиты кремниевых пластин,включающее БОз, 8203, А 1 зО., РЬО, ЕпО, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью снижения коэффициента линейного термического расширения, оно содержит указанные компоненты в следующем соотношении, масс.%;802 30 - 42 ВзОз 2 - 10 А 1,0 з 4 - 15 РЬО 35 - 45 Зо пО 8 - 15 Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Патент США У 3551355, кл. 252-514,1970,32. Патент Франции Мф 2329602,кл. С 03 С 3/12, 1978,
СмотретьЗаявка
2742044, 26.03.1979
МОСКОВСКИЙ ОРДЕНА ЛЕНИНА И ОРДЕНАТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ ХИМИКОТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. Д. И. МЕНДЕЛЕЕВА
ПАВЛУШКИН НИКОЛАЙ МИХЕЕВИЧ, ХОДАКОВСКАЯ РИММА ЯКОВЛЕВНА, МАРКАЧЕВА ВЕРА ФЕДОРОВНА, БРОТИКОВСКИЙ ОЛЕГ ИОСИФОВИЧ, ЧЕРНЦОВ СЕРГЕЙ МИХАЙЛОВИЧ
МПК / Метки
МПК: C03C 3/10
Метки: защиты, кремниевыхпластин, стекло
Опубликовано: 15.01.1981
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-796196-steklo-dlya-zashhity-kremnievykhplastin.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Стекло для защиты кремниевыхпластин</a>
Предыдущий патент: Электротехническое стекло
Следующий патент: Эмалевый шликер
Случайный патент: Патрон для завертывания шпилек