Патенты с меткой «короткопробежных»
Детектор короткопробежных заряженных частиц и способ его изготовления
Номер патента: 1371475
Опубликовано: 15.05.1994
Авторы: Вербицкая, Еремин, Клячкин, Маляренко, Строкан, Суханов
МПК: G01T 1/24, H01L 21/02, H01L 31/08 ...
Метки: детектор, заряженных, короткопробежных, частиц
1. Детектор короткопробежных заряженных частиц, состоящий из p+ - n - n+-структуры на основе кремниевой монокристаллической подложки со слоем двуокиси кремния, ограничивающим p+-область, и контактов, отличающийся тем, что, с целью улучшения разрешающей способности детектора, подложка выполнена из кремния с удельным сопротивлением 100 Ом см , и толщиной l, удовлетворяющей соотношению / S( l - b - W )