Патенты с меткой «катодны»

Номер патента: 190757

Опубликовано: 01.01.1967

МПК: C23C 14/06, C23C 14/36

Метки: веществ, катодны, пленок, распылением, смесей

...эти способы обладают следующими недостатками; не всегда представляется возможным приготовить сплав из исходных материалов; при распылении мозаичного катода на покрытии обнаруживается структура поверхности катода; на поверхности катода образуется пленка, обогащенная веществом с большей скоростью распыления. Для получения пленок заданных состава и толщины предлагается способ, при котором пленку на подложку наносят последовательно с каждого из изолированных друг от друга катодов, причем время выдержки под каждым катодом соответствует времени напыления пористого слоя из компонента соответствующего катода.Предлагаемый способ состоит в том, что подложку поочередно помещают под катоды из папыляемых материалов. Во избежание образования...