Патенты с меткой «ферромагнитных»

Страница 46

Источник магнетронного распыления ферромагнитных материалов

Загрузка...

Номер патента: 1036075

Опубликовано: 27.07.2010

Авторы: Аксенов, Горяев, Симонов, Юрков

МПК: C23C 14/42

Метки: источник, магнетронного, распыления, ферромагнитных

1. Источник магнетронного распыления ферромагнитных материалов, содержащий катод, магнитную систему с полюсными наконечниками и мишень, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции, в мишени выполнена канавка, расположенная между полюсными наконечниками магнитной системы.2. Источник по п.1, отличающийся тем, что канавка расположена на поверхности мишени, прилегающей к магнитной системе.