Патенты с меткой «ферромагнитных»
Страница 46
Источник магнетронного распыления ферромагнитных материалов
Номер патента: 1036075
Опубликовано: 27.07.2010
Авторы: Аксенов, Горяев, Симонов, Юрков
МПК: C23C 14/42
Метки: источник, магнетронного, распыления, ферромагнитных
1. Источник магнетронного распыления ферромагнитных материалов, содержащий катод, магнитную систему с полюсными наконечниками и мишень, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции, в мишени выполнена канавка, расположенная между полюсными наконечниками магнитной системы.2. Источник по п.1, отличающийся тем, что канавка расположена на поверхности мишени, прилегающей к магнитной системе.