Патенты с меткой «энерго-массанализатор»

Номер патента: 957317

Опубликовано: 07.09.1982

Авторы: Косячков, Черепин

МПК: H01J 49/32

Метки: энерго-массанализатор

...систему 3 фокусировки пучка ионовна исследуемый образец 4, расположенныепо ходу пучка анализируемых частиц коллимирующую и замедляющую систему 5, установленную на входе полусферического энергоанализатора 6, отклоняющее устройство 7, выполненное, например, в виде плоского конденсатора, и установленное на выходе энергоанализатора 6. За отклоняющим устройством 7 по ходу движения анализируемых частиц расположен массанализатор 8 и детектор 9 ионов. Управляемый извне манипулятор 1 О осуществляет поворот образца 4 на любой угол относительно направления падения пучка бомбардирующих ионов.Коллимирующая и замедляющая система 5, энергоанализатор 6 и отклоняющее устройство 7 механически жестко связаны между собой и размещены на поворотной...

Номер патента: 1265890

Опубликовано: 23.10.1986

Авторы: Голиков, Косячков, Черепин

МПК: H01J 49/32, H01J 49/44

Метки: энерго-массанализатор

...поверхностью ионы или электроны проходят через систему 5 коллимирующих и замедляющих электродов, ограничивающих угол отбора частиц, определяя тем самым угловое разрешение анализа, и через входную щель 7 внутреннего электрода 6 попадают в энерго анализатор. В последнем частицыподвергаются анализу по энергии в поле соответствующей конфигурации, образованном внутренним электродом 6 и двумя симметричными электрически 40 разъединенными частями 9 и 10 внешнего электрода. Выходящие через выходную щель 8 внутреннего электрода 6 энергоанализатора частицы проходят через входную щель 13, прорезан; 45 ную во внутренней пластине 11 плос" кого конденсатора. При анализе электронов разность потенциалов на плас" тинах 11 и 12 плоского...