Патенты с меткой «электрохилтического»
Способ избирательного электрохилтического
Номер патента: 290063
Опубликовано: 01.01.1971
Авторы: Клим, Лаврищев, Николаев, Цырлин
Метки: избирательного, электрохилтического
...фиг. 3 - образец со вскрытым контактным окном в слое диэлектрика до поверхности омического контакта 2 после удаления защитной 10 маски фоторезцста с его поверхности.Образец представляет собой кремниевуюпластину 1 с плапарным р-(г-переходом и омическцм контактом 2, вынесенным на поверхность пленки окисла кремния 3. Омический 15 контакт к р-п-переходу представляет собойдвухслойную металлическую композицию Тг - Ад общей толщиной 1,3 - 1,4 лгклг, нанесенную на поверхность кремниевой пластины методом вакуумного распыления, Структура защпше на слоем неорганического стекла (диэлектрика) 4 толшиноц 0,9 - 1,4 лгкя, характеризующего следующим элементарным составом; а(а. 02 23,5, РЬО 65,5, ВазОз 8,5, А 1 зОз 2.5,Перед проведением процесса...