Патенты с меткой «диазохинонов»

Номер патента: 483647

Опубликовано: 05.09.1975

Авторы: Кольцов, Мозжухин, Никольский, Титова, Юкина

МПК: G03F 7/08

Метки: ароматических, диазохинонов, производных, светочувствительных

...слоя (10 - 20 деф/с.т - в).Для получегия фоторсзиста с зысокой разрсшающей способностью надо использовать тонкие слои. Но:ри повышенной пористости слоев применение полученных произзодньх ограничено.Кроме того, исход;ыс реагенты часто е являются индивидуальными веществам 51, что приводит к еще б)ольшему ухудшеншо контраста.Цель изобретения - иобеспечивающего высокуюсобность фоторезиста при 0 фотомагерпала к мсьх 1 .10.1,10 жкйх 1 11 О)( спс 1 вдальных светоувстпрп нолОм заменснпн ксп- и аминогруппах па сульфоэфпр.ый остаток ПолуасхЫе сульфоамиалпфатическпх сп ртах, ы в ацетоне, что позвоительуо очистку сичтеС оста в и тел ь П. А браменко Редактор Т, Шарганова Техред Л, Казачкова Ко рректо р И. С им кина Заказ 7(б/907 Изд,61 Тираж 529...