Патенты с меткой «автоэпитаксиальных»
Расплав для выращивания автоэпитаксиальных слоев кремния
Номер патента: 1496557
Опубликовано: 20.09.2000
МПК: H01L 21/208
Метки: автоэпитаксиальных, выращивания, кремния, расплав, слоев
Расплав для выращивания автоэпитаксиальных слоев кремния, содержащий кремний, олово и добавку металла, отличающийся тем, что, с целью повышения удельного сопротивления слоев, в качестве добавки металла расплав содержит титан при следующем соотношении компонентов, мас.%:Кремний - 0,05 - 10Титан - 0,008 - 4Олово - Остальное