Патенты с меткой «антидиффузионного»

Номер патента: 361748

Опубликовано: 05.10.1978

Авторы: Димант, Иноземцев, Люскин, Николаев, Пешель, Прохоров, Смирнов, Сыркин, Уэльский

МПК: H01C 1/02

Метки: антидиффузионного, барьера

...и гальванический способы создания антидиффузионного барьера сопровождаются газовыделением,приводящим к плохому контакту барьерного слоя с полупроводником,С целью уменьшения тепловых иэлектрических сопротивлений контактатермическую диссоциацию легколетучего тетракарбонила никеля проводятна поверхности полупроводника, нагретого до низкой температуры, кото,рая не вызывает нежелательных изменений свойств полупроводника. Полупроводник на основе,В( 1 е ЗЪ , Зе помещают в герметичную камерую оборудованную инфракрасным нагревателем. В камере создают разрежение порядка 1-10 мм рт.ст. После нагрева образцов до температуры 100 140 С в камеру направляют дозированный тетракарбонил никеля со скоростью (2-6) 10 мол/мин, который при...