Патенты с меткой «429483»

Номер патента: 429483

Опубликовано: 25.05.1974

Авторы: Богданова, Зайцев, Пинчук, Рахленко, Френкель

МПК: H01L 21/288

Метки: 429483

...и несплошность покрытий.Покрытия из кислых растворов, содержащих хлорид никеля, гипосульфит натрия, натриевые соли органических кислот и глицин, в целом, давая более качественные покрытия, не обеспечивают достаточной прочности и сплошности покрытия на полупроводниковых структурах.Цель изобретения - разработка состава кислого раствора, обеспечивающего высокое качество покрытий на полупроводниковых структурах.Это достигается оптимизацией количества глицина в растворе.Уменьшение количества глицина (15 г/л) по сравнению с вводимым в известных растворах (30 г/л) повышает в 2 - 3 раза стабильность раствора и обеспечивает высокое качество сцепления и сплошность получаемых покрытий.5 Оптимальный состав раствора для получения покрытия на...