Патенты с меткой «400931»

Номер патента: 400931

Опубликовано: 01.01.1973

МПК: H01L 21/18

Метки: 400931

...5 чего его удобно использовать для эффективного легирования азотом.Использование пецтанитрида фосфоракроме обеспечения легировацця эпитаксиальных слоев азотом позволяет также уменьшить 10 расход фосфида галлия за счет насыщениягаллиевого расплава фосфором.П р и м е р, Эпцтаксиальная р-гг-структураизготавливается путем наращивания из галлиевого расплава г- и р-областей. В качестве 15 подложки могут быть использованы дендритцые пластины фосфида галлия, легированные теллуром до концентрации 4 10"+1 10 ггсм - .Подложка фосфида галлия и смесь, из которой производится эпитаксиальное наращива ние, помещаются в водородную печь. Смесьсостоит из Са+2,3 мол. % СгаР+ (0,2 - 0,9) мол. о/о Р,Х 5. Пластины фосфида галлия и смесь нагреваются в...