Патенты с меткой «336898»

Номер патента: 336898

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Алекс, Арпад, Виль, Инкорпорейтед, Иностранна, Соединенные

МПК: H01L 21/471

Метки: 336898

...чем ионы, поэтому электроныпроникают в любое тело в контакте с плазмой, создавая на поверхности тела потенциальный барьер. Поэтому для того, чтооысубстрат подвергался интенсивной цонноцбомбардировке, нет необходимости делать цзнего настоящий катод с внешним источником постоянного тока, Субстрат, погруженныйв плазму, фактически становится катодом изза наличия потенциального барьера,П р и м е р 1. Используют аппаратуру, показанную на чертеже. Отполированные кремниевые кружки располагают на кремниевойстойке и помещают в герметически закрытуюкамеру. С помощью магнитного привода стойку устанавливают в положение, обеспечивающее идентичность расположения кружког,Затем субстрат с помощью высокочастотногоподогревателя нагревают...