Патенты с меткой «294544»

Номер патента: 294544

Опубликовано: 15.04.1974

Авторы: Айвазов, Кобка

МПК: C23C 14/12

Метки: 294544

...от корпуса устрой вг 1 Я чертеже изображсцо предлагаемое устройства.Устройство состоит из вякуу.ц 1 ой камеры 1, с 1:стсмы .". ияцуска паров аргяш 1 чсской жидкоси 3 с всцтилсм 4, отключающим системуат кяерь 1, и,1 оских етял:1 иеских электродов 5, подложки 6, пластин 7 из вакуумцо о диэлекгргчсского материала, системы 8 совмсщсиия подложек 6 с масками 9, изолирующих фляццсв 1 О., с граце, ва раоат 1 ет слсдх 1 Оиим образом.В 1 Якл миую камсру 1, давление в которой сасгяв.яст 1 10- мм рт. ст., открыв вентиль 1 с 1 гстсмы , цаг скают пары рабочей жидкости 3. Скя дявлсиис в камере 1 це станет 11 явць 1. 0.2 - 0.5 1;и рт, ст. Зягем ия электроды 5 иодяк;т цаиряжсцис Г-=500- 800 в частоты 1 00 гц. При этом ц всех открытых х ьясткях 1...