Патенты с меткой «262861»

Номер патента: 262861

Опубликовано: 01.01.1970

МПК: H01L 21/324

Метки: 262861

...в5 качестве полупроводника используют кремнийп-типа, а в качестве металла-растворителядля зон - алюминий.Пластины кремния нориентированные по10 плоскости (111), полирхимически,Мегодом термического распыления алюминия в аакууме через специальный трафаретили на всю пластину с последующей фотоли 15 тографией получают заданное число параллельных линейных зон,необходимой ширины(ЗО - 200 мк) и толщины (не менее 1 О мк).Напыление алюминия сочетается с одновременным сплавлением с кремнием, для чего20 температура,подложки поддерживается в интервале 577 - 660 С,Ширину зоны в зависимости от температуры определяют по формуле262861 Пр едм ет изобретения Составитель Г, Корнилова Редактор Т. 3. Орловская Техред Л. В. Куклина Корректор С, А....