Патенты с меткой «247001»

Номер патента: 247001

Опубликовано: 01.01.1969

Автор: Йото

МПК: C23C 14/32, C23C 14/42

Метки: 247001

...поле в ся симметричным, в среднем 10 поле анода не влияет на си не нарушает равномерноки. 5 Уст ан ния, со ку, мп ионизац что, с 0 щины о струкцг в виде то,дов, распыле- подложриала ияся тем, ости толения коныполнена -термокаовка для понно-плазменного держащая вакуумную камеру шень из распыляемого мат ионную систему, отличающ целью обеспечения равномерн саждаемой пленки и упрощ и, ионизационная сисгема двух одинаковых электродо Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий,Известна установка для ионно-плазменного распыления, содержащая вакуумную камеру, подложку, мишень из распыляемого материала и ионизационную систему,Предложенная установка отличается тем, что ионизационная система выполнена в виде двух...