247001
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 247001
Автор: Йото
Текст
2470 О ОПИСАН И ЕИЗОЫ ЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сойз Советских Социзлистикеских РеспубликЗависимое от авт. свидетельства-Кл. 48 Ь, 13/08 Заявлено 09.1.1968 (Мо 1209104/22-1 присоединением заявки-Ц 1 К С 23 с Приор омитет оо дел зобретеиий и открытииори Совете МииистровСССР УДК 621.793,14.002.52 (088.8) Опубликовано 26 1.1970. Бюллетеньисания 9.71.197 ата опубликования Ьт.й 16 ЕЗМ М ПЛТЕНТНОАвторизобретения. А. Злот аявитель ЗМЕННОГО РАСПЫЛЕНИ ДЛЯ ИОНН СТА отрицательный по- электроны ускоряорому термокатоду, ожчтельный потент. В следующем поняются ролями. Таый данный момент системе не являетза время процесса корость распыления сти толщины плен один из термокатодов имеет тенциал, эмиттируемые им ются по направлению ко вт имеющему в это время пол 5 циал и служащему анодовлупериоде термокатоды ме ким образом, хотя в кажд электростатическое поле в ся симметричным, в среднем 10 поле анода не влияет на си не нарушает равномерноки. 5 Уст ан ния, со ку, мп ионизац что, с 0 щины о струкцг в виде то,дов, распыле- подложриала ияся тем, ости толения коныполнена -термокаовка для понно-плазменного держащая вакуумную камеру шень из распыляемого мат ионную систему, отличающ целью обеспечения равномерн саждаемой пленки и упрощ и, ионизационная сисгема двух одинаковых электродо Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий,Известна установка для ионно-плазменного распыления, содержащая вакуумную камеру, подложку, мишень из распыляемого материала и ионизационную систему,Предложенная установка отличается тем, что ионизационная система выполнена в виде двух одинаковых электродов-термокатодов. Такая установка обеспечивает равномерность толщины осаждаемой пленки, проста по конструкции и компактна.На чертеже изображена схема описываемой установки,Установка состоит из вакуумной камеры 1, подложки 2, мишсни 3 из распыляемого материала и ионизационной системы, выполненной В Виде двух одинаковых электродов-термокатодов 4 и 5, накал которых осуществляется от источников б и 7. К термокатодам 4 и 5 приложено переменное напряжение, создаваемое источником 8. Мишень 3 связана с источником высокого отрицательного напряжения 9. Когда едмет изобретени247001Составитель В. ЗлотииТехред А. А, Камышникова Корректор В. В. Комарова Редактор В, Сорокин Заказ 1292/7 Тираж 500 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва Ж, Раушская наб д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2
СмотретьЗаявка
1209104
ЙЕ. йоТо
МПК / Метки
МПК: C23C 14/32, C23C 14/42
Метки: 247001
Опубликовано: 01.01.1969
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-247001-247001.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">247001</a>
Предыдущий патент: Раствор для химического никелирования
Следующий патент: Раствор для химического фрезерования нержавеющей стали
Случайный патент: Привод поршневого растворо-насоса