Патенты с меткой «180701»

Номер патента: 180701

Опубликовано: 01.01.1966

МПК: C23C 14/14

Метки: 180701

...нз двгок:.1 с 10суют в таолеткн венспаритель. На подературы 200 в 3"С, ьакууме 210 о л 1, нспарителя 1400 в Известные способы изготовления диэлектрических пленок, основанные на испарении в Вакуумной камере двуок 11 сР креенн 51, характеризуются сравнительо высокой температурой испарения, равной 2000 - 2200 С, что усложняет технологию и уменьшает воспроизводимость результатов.В описываемом способе сниРкение температуры испарения двуокиси кремния без ухудшения диэлектрических свойств пленки достигнуто применением смеси, состоящей 1 з двуокиси кремния и лантана, взятых в эквиполярных количествах.Технология полу.чения таких пленок заключается в следующем.Исходные материалы: двуокись кремния и лантан измельчают в атмосфере...