Патенты с меткой «163292»

Номер патента: 163292

Опубликовано: 01.01.1964

МПК: H01L 21/383

Метки: 163292

...термопарой 5.Перед напылением пластину подвергаюг предварительному отжигу с целью удаления с ее поверхности адсорбирсванкых газов и летучих органических соединений, которые могли остаться пссле промывки. Затем по достижении высокого вакуума ка нагретую до температуры дяффузии пластину напыляется примесь, температура испарения которой в вакууме нихке температуры диффузии, В качестве примеси для германия применяются сурьв полупровод- езатранзистовысоком вапластины поотличаюевают до темсе напыления ев примеси в роисходит инПодписная группа Л 82 ОЗДАИИЯ ВАЗОВЫХ С ПРИЬО1КО ВЫ)Г ма, мышьяк, висмут, фосфор, а для кремния -материалы с большей температурой испарения. Нанесенная на пластину примесь частично внедряется в полупроводниковый...