Вакуумная система течеискателя

СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИРЕСПУБЛИК 501779961 1 М 3/02 1)5 ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕВЕДОМСТВО СССРГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(57) Использование тельные вакуумные и куумная система со насос 1, паромасля ловушку 4, масс-спек ру 8, вакуумные клап чики 11 и 12 и устрой или пневматического сосуд 5 ловушки 4. размещены в нижней суда 5 на различных в(21) 4914754/ (22) 27,02.91 (46) 07,12.92. (72) А.Л. Гусев (56) Авторское М 1244396, клТече искат порт 1983. контрольно-измеририборы. Сущность: вадержит механический йый насос 2, азотную трометрическую камеаны 3, 6 и 7, термодатство подачи теплового потока в криогенный Термодатчики 11 и 12 части криогенного соысотах, соответствую1779961 щих уровню предупреждения и критическому уровню. Чувствительные элементы термодатчиков 11 и 12 выполнены в виде оболочек 14, охватывающих постоянные магниты 15 и изготовленных из ферромагнитного материала с точкой Кюри, близкой к температуре кипения криогенной жидкости. Вблизи чувствительных элементов размещены магнитоуправляемые контакты - герконы 16, один из которых связан с регистрирующей, суммирующей и командной аппаратурой 17 - 19 воздействия на электроИзобретение относится к вакуумной технике, в частности к конструкциям средств испытаний изделий на герметичность,Известна вакуумная система течеискателя, содержащая механический насос с напускным клапаном, паромасляный насос, выход которого подключен при помощи магистрали с электромагнитным клапаном к входу механического насоса, и азотную ловушку с сосудом для хладагента, подклюценную через дроссельный клапан к входу паромасляного насоса, а при помощи байпасной магистрали с запорными вентилями и масс - спектрометрической камерой - к входу механического насоса. Кроме того, система содержит магистраль с запорным электромагнитным клапаном, подсоединенную к полости сосуда для хладагента и паромасляному насосу, а дроссельный клапан снабжен электромагнитным приводом с регулируемой частотой включения. Подключение системы к испытуемому иэделию осуществляется при помощи входной магистрали с контрольной гелиевой,течью. Изобретение позволяет уменьшить время останова течеискателя путем интенсификации охлаждения паромасляного насоса,Однако во время работы течеискателя при испарении криоагента понижается его уровень, и верхние части сосуда и вакуум - провода отогреваются. При этом происходит ухудшение защитных свойств ловушки и деконденсация с отогретых поверхностей ранее сконденсировавшихся паров, которые, попадая обратно в откачиваемый объем, загрязняют его и ухудшают вакуум, Кроме того, сильно загрязняются катод и магнитный вакуумный датчик, что приводит к существенным флюктуациям показаний 5 10 15 20 25 30 35 40 магнитный клапан 7, расположенный между масс - спектрометрической камерой 8 и азотной ловушкой 4, а также насистемы 20 и 22 электропитания катода 21 и магнитного вакуумного датчика 23. Кроме того, на дне сосуда 5 установлен дополнительный термодатчик 24, связанный с регистрирующей командной аппаратурой 19 воздействия на коммутационное устройство 25 подачи теплового или пневматического потока в криогенный сосуд. 1 с. и 2 з. и. ф., 1 ил,последнего и большим погрешностям измерений, Загрязнение раскаленной нити катода может привести к перегоранию катода, Все зто сильно снижает надежность в работе катода и магнитного вакуумного датчика, уменьшает время межрегламентного периода, снижает точность измерений, существенно повышает эксплуатационные и трудозатраты при работе с течеискателем.Известна форвакуумная криогенная ловушка, содержащая сосуд Дьюара и трубу для прохода откачиваемого газа, установ-. ленную по оси сосуда Дьюара. Наружная поверхность трубы покрыта слоем пористого теплопроводного материала, например спекаемым бронзовым порошком, В этом изобретении слой пористого материала увеличивает теплообменную поверхность трубы, а за счет капиллярности обеспечивает смачивание хладагентом всей трубы независимо от уровня хладагента в сосуде Дьюара, что повышает эффективность работы ловушки. Однако при испарении всего хладагента в сосуде Дьюара происходит резкое ухудшение защитных свойств ловушки, что негативно сказывается на функционировании приборов, размещенных в масс-спектрометрической камере течеискателя.Известна охлаждаемая сорбционная ловушка, содержащая корпус с помещенными в него кольцевым медным сосудом для жидкого хладагента с антимиграционным барьером и сорбирующими элементами, причем к нижней части кольцевого сосуда герметично прикреплен патрубок, покрытый слоем сорбента в катализато, например окисью титана, При отсутствии жидкого хладагента в кольцевом сосуде пары масла, мигрируя по стенкам ловушки, попадают на патрубок, покрытый слоем сорбента-ката5 10 15 20 лизатора, разлагаются на легкие фракции и откачиваются диффузионным насосом. Однако при испарении всего хладагента в сосуде Дьюара происходит резкое ухудшение защитных свойств ловушки, что отрицательно сказывается на функциональных и эксплуатационных характеристиках масс - спектрометрического течеискателя.Известно устройство для охлаждения элемента, расположенного в вакуумируемом обьеме, например для захалаживания ловушки диффузионного насоса, содержащее средство, установленное снаружи объема и теплоизолираванное вакуумируемым кожухом; эти средства соединены с охлэждаемым элементом так,чтобы от него можно было отводить тепло. Кроме того, оно содержит теплоотводящее соединение, образованное охлаждающим стержнем, составляющим одно целое с охлаждающим средством. Теплоотводящее соединение вводится в обьем через трубчатую, деталь, отходящую ат вакуул 1 ируемого кожуха, и соединяется с обьемом так, что вакуумный обьем, и кокух соединяется друг с другом. Трубчатая деталь снабжена вакуум - плотным фланцем, соединяющимся с подобным фланцем на вакуумируемам обьеме. Охлаждающий стержень выполнен в виде полого элемента, по которому течет хладагент. Охлаждающее средство выполнено в виде резервуара - хранилища для жидкого хладагента. Это техническое решение существенна снижает степень вероятности испарения всего хладагента в азотной ловушке, на все же не исключает полное опорожнение хладагента в сосуде Дьоара криогенной ловушки, и, как следствие, загрязнение приборов масс - спектрометрической камеры,Известна вакуумная ловушка, содержащая корпус и расположенный в нем хладопровод, на котором с возможность поворота установлены жалюзи, соединенныес приводом, причем последний выполнен в виде биметаллического элемента, снабженного подогревателем, Данное техническое решение позволяет автоматически регулировать проводимость ловушки в зависимости от величины вакуума в системе. Однако при полном опорожнении сосуда Дьюара криогенной ловушки не обеспечивается полная отсечка масс - спектрометрической камеры от десорбирующихся с поверхностей ловушки летучих загрязнений, что ведет к загрязнению и повреждению приборов масс - спектраметрической камеры.Известна система автоматического управления вакуумной установкой, содержа 25 30 35 40 45 50 55 щая входной и выходной управляемые венгили диффузионного насоса с нагревателем и размещенный на форвакуумном трубопроводе датчик давления, выполненный радио- метрическим и связанный с регистрирующей, сигнализирующей и командной аппаратурой воздействия на вентили, причем датчик давления установлен в зоне диффузионного насоса и снабжен обоймой с прорезями и приемниом инфракрасного излучения, связанным с командной аппаратурой воздействия нэ входной вентиль. Данное техническое решение позволяет проводить контроль работы установки по давлению, расходу охлаждающей воды и электропитанию по одному каналу, что в целом повышает надежность системы управления. Однако данное техническое решение не обеспечивает и не предполагает защиты вакуумируемого обьема, в частности масс - спектрометрической камеры, от загрязняющих поверхностей ловушки в случае полного испарения хладагента,Наиболее близким по технической сущности аналогом является вакуул 1 нэя система течеискателя, содержащая масс - спектрометрическую камеру, паромасляный насос, пластинчато-роторный насос, семь клапанов, калиброванную гелиевую течь, азотную ловушку, вакуумный датчик и термопарный манометрический преобразователь, В этой системе при испарении криоагента с понижением его уровня верхние части сосуда и вакуум - провода отогреваются. При этом происходит ухудшение защитных свойств азотной ловушки и деконденсация с атогретых поверхностей ранее скондснс,;ровавшихся паров, которые, попадая обратно в откачиваемый обьем, загрязняют приборы масс - спектрометрической камерь. В результате снижаются надежность в работе катода, магнитного вакуумного датчика, время мекрегламентного периода, то пасгь измерений, возрастают эксплуатационные затраты,Целью изобретения является повыше - ние надежности в работе катода лагнитного вакуумного датчика масс-спектраметрической камеры, увеличение времени л 1 ежреглалентного периода и точности измерений, Кроме того, целью изобретения также является повышение достоверност";:;онтроля асупки азотной лавушки после сканчания работы и его автоматизации, а 1 ак.:е снижение затрат и экономия ресурса огка ной системы при вакуул 1 ной осушке азотной ловушки. Поставленная цель достигается тем, чтоизвестная вакуумная система течеискателя, 17799615 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 содержащая механический насос с напускным клап- дм, пдромасляный насос, выход которог подключен при помощи магистрали с первым электромагнитным клапаном к входу механического ндсоса, азотную ловушку с сосудом для хладагента, подклюценную через дроссельный клапан к входу паромэсляного насоса, масс-спектрометрицсскую камеру, подключенную через второй электромагнитный клапан к азотной ловушке, а при помощи бдйпасной магистрали с запорным элементом - к входу механического насоса, снабжена по меньшей мере двумя термодатчиками, размещенными в нижней цасти сосуда для хладагента на различных высотах, первый термодатцик - на уровне предупреждения, второй - нэ критическом уровне, и прикрепленными к стенке сосуда посредством кронштейнов из диамагнитного тепловлагоэлектроизоляционного материала, первой регистрирующей и сигнализирующей аппаратурой и первой командной аппаратурой воздействия нэ второй электромагнитный клапан и систему электропитания катода и магнитного вакуулного датчика, а каждый из термодатчиков состоит из постоянного магнита, чувствительного элемента в виде охватывающей магнит оболочки из ферромагнитного материала с точкой Кюри, близкой к температуре кипения хладагента, и магнитоуправляемого контакт-геркона, вмонтированного внутри соответствующего кронштейна, контакт - герконы обоих термодатчиков соединены с регистрирующей и сигнализирующей аппаратурой, а контакт-геркон второго терлодэтчикэ соединен с первой командной аппаратурой. Кроме того, она снабжена коммутационным устройством подачи теплового или пневматического потока в сосуд для хладагента, третьик термодатчиком, установленным на дне сосуда для хладагента, и соединенными с ним второй регистрирующей аппаратурой и второй командной аппаратурой воздействия на коммутационное устройство, а второй термодатчик также соединен со второй командной аппаратурой, При этом вакуумная система течеискателя снабжена аппаратурой блокировки системы откачки по давлению и третьей командной аппаратурой воздействия на аппаратуру блокировки, а третий термодатчик и вакуумный датчик пароструйного насоса соединены с третьей командной аппаратурой. Сущность изобретения заключается в предварительной сигнализации и последующей автоматической отсечке объема масс - спектрометрической камеры от остальной вакуумной системы течеискателя и прекращении электропитания катода, а также магнитного вакуумного датчика при снижении уровня хладагента в крйогенном сосуде ниже допустимого, Кроме того, сущность изобретения заключается также в автоматическом прекращении отогрева ловушки при испарении всего хладагента и включении после этого блокировки системы откачки по давлению, срабатывающей после восстановления рабочего давления пароструйного насоса. Сопоставительный анализ с прототипом позволяет сделать вывод, что конструкция вакуумной системы течеискателя дополнительно содержит как минимум два термодатчика, размещенных в нижней части криогенной емкости на различных высотах, соответствующих уровню предупреждения и критическому уровню, прикрепленных к ее стенке посредством кронштейнов из диамагнитного тепловлагоэлектроизоляционного материала, чувствительные элементы которых выполнены в виде оболочек, охватывающих постоянные магниты, при этом оболоцки изготовлены из ферромагнитного материала с точкой Кюри, близкой к температуре кипения криогенной жидкости, причем внутри каждого кронштейна вмонтирован магнитоуправляемый контакт-геркон, один из которых связан с регистрирующей и сигнализирующей аппа-. ратурой, другой - с регистрирующей, сигнализирующей и командной аппаратурой воздействия на электромагнитный клапан, расположенный между масс-спектрометрицеской камерой и азотной. ловушкой, э также на систему электропитания катода и магнитного вакуумного датчика. Таким образом, заявляемое техническое решение соответствует критерию "новизна". Известно техническое решение конструкции системы автоматического управления вакуумной установкой, В этой конструкции осуществляется контроль режима работы установки по давлению, расходу охлаждающей воды и электропитанию по одному каналу, что в целом повышает надежность системы, Однако эта схема защиты вакуумной камеры масс - спектрометрической камеры) от загрязняющих веществ малоэффективна в случае испарения хладагента в криогенном сосуде ловушки и отогрева ее вымораживающих стенок. Поток деконденсирующихся со стенок ловушки веществ в первоначальный момент существенно не изменяет давления в вакуумной камере, но значительно загрязняет основные рабочие элементымасс-спектрической камеры, а именно ионный источник и приемник ионов, Ионный источник содержит катод, коробку ионизатора и диафрагму, Приемник ионов содержит входную диафрагму, супрессор, состоящий иэ двух сеток и коллектор ионов. Загрязнение поверхностей основных рабочих элементов масс-спектрометрической камеры приводит к значительным ошибкам при измерении фона, возникновению флюктуаций при измерении давления магнитным вакуумным датчиком, образованию пленок крекинга масла на поверхностях основных рабочих элементов, выходу из строя катода, приемника ионов, вакуумного датчика, снижению межрегламентного периода, При увеличении потока деконденсирующихся веществ в вакуумной камере изменится давление и после этого система автоматического управления вакуумной установкой (6) вмешается в работу системы. Однако к этому времени значительное негативное воздействие на основные рабочие элементы масс - спектрометрической камеры уже будет оказано. В заявляемом техническом решении эти недостатки устраняются благодаря ведению контроля за минимально допустимым количеством хладагента в криогенном сосуде, обеспечивающим чормальное вымораживающее и удерживающее действие загрязняющих веществ в процессе откачки и активному вмешательству системы контроля в процессе откачки масс - спектрометрической камеры и функционирования основных рабочих элементов, находящихся в ней в случае уменьшения количества хладагента ниже минимального допустимого уровня. Таким образом, на основании анализа известных технических решений в исследуемой области, можно признать решение соответствующим критерию "Существенные отличия".На чертеже показана схема вакуумной системы течеискателя.Вакуумная система течеискателя содержит механический насос 1 с напускным клапаном, паромасляный насос 2, выход которого подключен при помощи магистрали с электромагнитным клапаном 3 к входу механического насоса 1, азотную ловушку 4 с сосудом для хладагента 5, подключенную через дроссельный клапан 6 к входу паромасляного насоса 2 и через электромагнитный клапан 7 к масс - спектрометрической камере 8, а при помощи байпасной магистрали 9 с запорным вентилем 10 и масс - спектрометрической камерой 8 - к входу механического насоса 1, два термодатчика 11 и 12, размещенные в нижней части криогенной емкости на различных высотах, соот 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 ветствующих уровню предупреждения о наобходимости пополнения криогенного продукта в азотную ловушку для нормального функционирования последней и критическому уровню, при котором азотная ловушка не в состоянии качественно вымораживать пары жидкости и удерживать конденсат, накопившийся ранее на вымораживающей поверхности. Термодатчики 11 и 12 крепятся к стенке криогенного сосуда 5 посредством кронштейнов 13 из диамагнитного тепловлагоэлектроизоляционного материала. Чувствительные элементы термодатчиков выполнены в виде оболочек 14, охватывающих постоянные магниты 15, при этом оболочки 14 изготовлены из ферромагнитного материала с точкой Кюри, близкой к температуре кипения криогенной жидкости. Внутри каждого кронштейна 11 вмонтирован магнитоуправляемый контакт - геркон 16, один из которых связан с регистрирующей 17 и сигнализирующей 18 аппаратурами, другой - с регистрирующей 17, сигнализирующей 18 и командной 19 аппаратурами, последняя воздействует на электромагнитный клапан 7, расположенный между масс-спектрической камерой 8 и азотной ловушкой 4. Кроме воздействия на электромагнитный клапан 7, командная аппаратура 19 воздействует также на систел 1 у электропитания 20 катода 21 и систел 1 у электропитания 22 магнитного вакуумного дагчика 23. Таким образом, в блоке 19 размещены три командных аппаратуры: командная аппаратура воздействия на электромагнитный клапан 7, командная аппаратура воздействия на систел 1 у алек - ропитания 20 катода 21 и коланднля аппаратура воздействия на сстсл 1 у электропитания 22 вакуумного датчи; а 23, Кроме того, вакуумная система течеис кателя содержит установленный в дниьцс кр 1:огенного сосуда 5 ловушки 4 допол интел вне й термодатчик 24, связанный с регистр: руищей 17, сигнализирующей 18 и командной аппаратурой воздействия на камл 1 утациан-, ное устройство 25 подачи теплавога или пневматического потока в криагенный сосуд ловушки, при этом с командной аппаратурой воздействия на колл 1 утациа нае устройство 25 также связан таргчадатчик 12, установленный на критическал разве. Термодатчик 24, установленный в,.; 1 и:.це крагенного сосуда 5 ловушки, а таях; вакуумный датчик 26 парас-,руй.: го и:е, л связаны с командной аппаратурой 27 воздействия на блокировку 28 с.;стамы откачки по давлению. Блокировка 28 связана с реле времени 29, Реле времени коммутирует систему электропитания механического насоса 1, 1779961 12Блок имитации 30 жидкого азота в ловушке 4 связан с командной аппаратурой 19, Входной вентиль 31 сообщает массспектрометрическую камеру с испытуемым объектом. Командное устройство 32 связано с регистрирующей 17 и сигнализирующей 18 аппаратурой,Вакуумная система течеискателя работает следующим образом.После откачки объема вакуумного насоса 1 до рабочего давления включается блок имитации жидкого азота в криогенном сосуде 5 на уровне, превышающем "предупредительный", Далее производится откачка паромасляного насоса 2. После откачки насоса 2 включается подогреватель последнего, После разогрева пароструйного насоса 2 через клапан 6 производится откачка объема азотной ловушки 4 до заданного давления, измеряемого датчиком 26. Затем заливается жидкий азот в криогенный сосуд 5 азотной ловушки 4 и отключается блок имитации жидкого азота 30 в ловушке 4. После захолаживания азотной ловушки 4 открывается электромагнитный клапан 7 и производится откачка масс - спектрометрической камеры 8. Во время откачки камеры 8 включается магнитный вакуумный датчик 23 и после достижения рабочего давления в камере подается накал на катод ионного источника. После установления заданного тока эмиссии открывают входной клапан 31, соединяющий вакуумную систему течеискателя с испытуемым объектом криогенного сосуда 5.При наличии жидкого азота в криогенном сосуде 5 герметичные контакты датчиков, находящиеся ниже уровня жидкости, разомкнуты, так как магнитные потоки ф 6, создаваемые постоянными магнитами 15, экранируется ферромагнитными оболочками 14 этих магнитов, замыкая на себя их силовые линии. Для размыкания контактов геркона к ним необходимо приложить минимальную силу притяжения Ф 32 иоаЬгде,ио - магнитная постоянная, равная 4 жх 10 Г/м;а - длина участка перекрытия пружин,м;Ь - ширина пружин, м;% - магнитный поток в зазоре (в веберах).Контакты удерживаются в разомкнутом состоянии под действием упругой силы, направленной противоположно силе магнитного притяженияХ - х 10 15 магнит 15, начнет быстро нагреваться. Припереходе через точку Кюри материал оболочки 14 начинает обладать свойством пара 20 25 30 35 40 45 50 55 где Х - величина зазора между кольцаминедеформированных пружин, м;х - рабочий зазор между пружинами приих деформировании в процессе срабатывания, м,Я - жесткость каждой пружины, Нlм .В процессе работы течеискателя по мере испарения жидкого азота из криогенного сосуда 5 термодатчик может находиться выше уровня жидкости. В этом случае чувствительный элемент термодатчика 11 оболочка 14, охватывающая постоянный магнетиков и диамагнитен. Герметичные контакты датчика 11 замкнуты. Такое состояние обьясняется следующим, Магнитный поток Ф, создаваемый постоянным магнитом 15, пронизывая оболочку 14, реагирует с герконом 16, Вследствие появления магнитного потока достаточной мощности для эапирания контактов геркона 16, свободные концы пружин приближаются друг к другу, наступает состояние равновесия Рп = Гу, которому соответствует магнитный поток Фз тра а ь Я (х - х),После того, как под действием возросшего магнитного поля Н величина зазора уменьшилась с Х до х и соответствует критическому зазору пружины продолжают сближаться и без дальнейшего возрастания Н. Для обеспечения надежной работы геркона и большей его чувствительности целесообразно, чтобы рабочая индукция В = Фщ/Я была меньше индукции насыщения Вэ, а коэффициенты а 1 и аг в выражениях В 1=ф 1/Б =а 1 Вз и Вг =%/Я =аг Вз находились в пределах 0,75а 10,9;0,6 аг 0,75.Таким образом, после замыкания контактов геркона термодатчика 11 подается электрический сигнал на командное устройство 32 воздействия на регистрирующую.17 и сигнализирующую 18 аппаратуру. При получении сигналов аппаратуры 17 и 18 оператор заливает жидкий азот в ловушку, При испарении азота в криогенном сосуде 5 до уровня, соответствующего критическому, срабатывают контакты геркона термодатчика 12, выдается электрический сигнал на командное устройство 19, Командное устройство 19 направляет воздействие на закрытие электромагнитных клапанов 7 и 31, на систему электропитания 20 катода 21 сцелью его обесточивания, на систему электропитания 22 магнитного вакуумного датчика 23 с целью его отключения, После срабатывания электромагнитного клапана 7 электрический сигнал о закрытии передается на электропневмоклапан 25 и только после получения воздействия от командного устройства 19 автоматически открывается электропневмоклапан 25, установленный на магистрали подачи пневматического потока в криогенный сосуд 5 ловушки 4. При этом электропневмоклапан 25 открывается только после получения сигнала о закрытии электромагнитного клапана 7. После начала отогрева азотной ловушки 4 в вакуумной полости между криогенным сосудом и непосредственно наружными стенками азотной ловушки 5 начинается процесс повышения давления, который фиксируется вакуумным датчиком 26. После достижения некоторого предельного давления и получения сигнала о полном отсутствии жидкого азота в криогенном сосуде 5 с термодатчика 24 командная аппаратура 27 направляет воздействие на включение блокировки 28 по давлению системы откачки, После того как весь конденсат испарится с вымораживающей поверхности криогенного сосуда и удалится системой откачки, давление в вакуумной полости азотной ловушки начнет снижаться. При некотором давлении в вакуумной полости, соответствующем рабочему давлению в вакуумной системе без жидкого азота в ловушке блокировки 28 выдает команду на закрытие электроклапана 6 и после этого отключит нагреватель паромасляного насоса 2. После отключения нагревателя насоса 2 блокировка 28 включит в работу реле времени 29. По истечении времени, необходимого для остывания корпуса паромасляного насоса 2, реле отключит механический насос 1. Течеискатель автоматически остановлен,Итак, предлагаемое устройство позволяет существенно повысить надежность в работе катода и магнитного вакуумного датчика, увеличить время межрегламентного периода течеискателя, повысить точность измерений, упростить процесс останова течеискателя оператором,Формула изобретения 1. Вакуумная система течеискателя, содержащая насос с напускным клапаном, паромасляный насос, выход которого подключен при помощи магистрали с первым электромагнитным клапаном к входу механического насоса, азотную ловушку с сосудом для хладагента, подключенную через дроссельный клапан к входу паромасляного5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 насоса, масс - спектрометрическую камеру, подключенную через второй электромагнитный клапан к азотной ловушке, а при помощи байпасной магистрали с запорным вентилем - к входу механического насоса, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения надежности в работе катода и магнитного вакуумного датчика масс-спектрометрической камеры, увеличения времени межрегламентного периода и точности измерений, она снабжена по меньшей мере двумя термодатчиками, размещенными в нижней части сосуда для хладагента на различных высотах, первый датчик - на уровне предупреждения, второй - на критическом уровне, и прикрепленными к стенке сосуда посредством кронштейнов из диамагнитного тепловлагоэлектроизоляционного материала, первой регистрирующей и сигнализирующей аппаратурой и первой командной аппаратурой воздействия на второй электромагнитный клапан и систему электропитания катода и магнитного вакуумного датчика, а каждый из термодатчиков состоит из постоянного магнита, чувствительного элемента в виде охватывающей магнит оболочки из ферромагнитного материала с точкой Кюри, близкой к температуре кипения хладагента, и магнитоуправляемого контакт в герко, вмонтированного внутри соответствующего кронштейна, контакт-герконы обоих термодатчиков соединены с регистрирующей и сигнализирующей аппаратурой, а контактгеркон второго термодатчика соединен с первой командной аппаратурой.2, Система по и. 1, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения достоверности контроля осушки азотной ловушки после окончания работы и его автоматизации, она снабжена коммутационным устройством подачи теплового или пневматического потока в сосуд хладагента, третьим термодатчиком, установленным на дне сосуда для хладагента, и соединенными с ним второй регистрирующей аппаратурой и второй командной аппаратурой воздействия на коммутационное устройство, а второй термодатчик также соединен с второй командной аппаратурой.3. Система по пп. 1 и 2, о т л и ч а ю щ ая с я тем, что, с целью снижения затрат и экономии ресурса откачной системы при вакуумной осушке азотной ловушки, она снабжена аппаратурой блокировки системы откачки по давлению и третьей командной аппаратурой воздействия на аппаратуру блокировки, а третий термодатчик и вакуумный датчик пароструйного насоса соединены с третьей командной аппаратурой.