Устройство для напрессовки пленки

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИРЕСПУБЛИК О 147725 К 3/00 ГОСУДАРСТВЕННЫПО ИЗОБРЕТЕНИЯМПРИ ГКНТ СССР КОМИТЕТОТНРЫТИЯМ ИСАНИЕ ИЭОБРЕТ У АТ(54) УСТРОЙСТВО ДИ НАПРЕССОВКИ ПЛЕНКИ(57) Изобретение может быть использо вано для нанесения пленки фотореэиста на заготовки печатных плат. Устройство для напрессовки пленки имеет нагреваемые прессующие валки (НПВ) 2, 3, торсионную трубу 4, распорную5, детали 6, 6 и подвижно ус/тановленные детали 7, 7 , которые вместе с НПВ 2 и торсионной трубой 4 образуют параллельный качающийся Г-образный рычаг и с определеннымдавлением прижимают НПВ 2 к подложке. Детали 6, 6 и 7, 7 расположенысимметрично относительно серединыустройства. НПВ 3 неподвижно установлен в деталях 6, 6 , а НПВ 2 неподвижно установлен в деталях 7, 7,благодаря перемещению которых можнов заданных пределах изменять зазорй между НПВ 2 и 3. Подложка вводитсяв зазор между НПВ 2 и 3, отжимаетНПВ 2 и параллельный качающийся Г-образный рычаг вниз так, что его плечо39 поворачивается вниз и винт 38вдвигает шток 37 поршня цилиндра дотех пор, пока не установится равновесие между давлением в цилиндре идавлением, которое параллельный качающийся Г-образный рычаг оказываетчерез плечо 39 на шток 37 поршня цилиндра. Устройство имеет улучшенныеэксплуатационные возможности. 7 ф-лы, 5 ил.Изобретение относится к устройствам для .напрессовки пленки и может быть использовано для нанесения пленки фоторезиста на заготовки печатных плат .Цель изобретения - улучшение эксплуатационных возможностей путем изменения зазора между валками и давления прессования. 10На фиг1 изображено устройство для напрессовки пленки, вид сбоку, частично в разрезе; на фиг.2 - подвижные элементы устройства для напрессовки пленки с установленной в 15 боковинах торсионной трубой, разрез; на фиг.3 - устройство для напрессовки пленки с приводным двигателем и зубчатой передачей, вариант исполнения; на фиг.4 - то же, разрез; на20 фиг.5 - детали подвижных элементов устройства для напрессовки пленки.Устройство для напрессовки пленки включает раму 1, напрессовочные валки 2 и 3, торсионную 4 и распорную 5 25 трубы, детали 6, 6 и подвижно установленные детали 7, 7 , которые вместе с напрессовочным валком 2 и торсионной трубой 4 образуют параллельный качающийся рычаг и с определен ным давлением прижимают напрессовочный валок 2 к подложке (не показана), на которую напрессовывается слой и которая перемещается через зазор Й между напрессовочными валками 2 и 3. Детали 6, 6 и 7 7 расположены симметрично относительно середины устройства для напрессовки пленки. Под напрессовочными валками 2 и 3 в боковинах 8 и 9 установлены торси синая 4 и распорная 5 трубы. Скорость вращения напрессовочных валков 2 и 3 больше скорости передвижения подложки, которая от нагревательного устройства (не показано) сверху в 45 вертикальном направлении подводится к обоим напрессовочным валкам 2 и 3Напрессовочный валок 3 неподвижно установлен в неподвижных деталях 6, 6, а напрессовочный валок 2 неподвижно установлен в подвижных деталях 7, 7 , благодаря перемещению которых можно в заданных пределах изменять зазор д между валками. Зазор Й может быть отрегулирован, например, на 0,5-5510 мм.Для установления зазора Й между обоими напрессовочными валками 2 и 3 служат один или два регулировочных элемента 10, 10 с установочными винтами, которые находятся в зацеплении с неподвижными деталями 6,6 и к которым примыкают подвижные детали 7, 7 . Установочные винты ввинчены, на- пример, горизонтально в неподвижные детали 6, 6 , при этом резьбовое отверстие имеет длину, по меньшей мере равную длине установочного винта. Установочные винты в соответствии с величиной желаемого зазора Й между напрессовочными валками 2 и 3 ввинчиваются в резьббвое отверстие и фиксируются с помощью контргайки, Подвижные детали 7, 7 устройства для напрессовки пленки упорной поверхностью примыкают к соответствующей головке 11 установочного винта,Подвижные детали 7, 7 параллельного качающегося рычага имеют по одному клещевому зажиму 12 и 13 (см. фиг.5) для приема напрессовочного валка 2. В горизонтальных верхних участках деталей 7, 7или, соответственно, 6, 6 предусмотрены вертикальные резьбовые отверстия, в которыь ввинчены винты 14 и 15, своими коническими концами примыкающие к напрессовочному валку 2 или 3 и фиксирующие их против бокового смещения из зажимов.На наружной стороне подвижной детали 7 параллельного качающегося рычага имеется буртик 16, в котором выполнено сквозное отверстие 17, в которое ввинчен установочный винт 18. Под буртиком 16 находится шаровидный или трубчатый корпус 19, расположенный параллельно торсионной 4 и распорной 5 трубой. Корпус 19 сверху и снизу выполнен уплощенным и на уплощенных участках имеет сквозные отверстия 20 и 21. В корпусе 19 в отверстии 22 размещен предустановочный винт 23, который проходит через нижнее сквозное отверстие 21 и находится в зацеплении с реэьбовой гайкой 24, примыкающей к наружной сторо-. не нижнего уплощенного участка корпуса 19, удерживающей предустановочный винт 23 и предохраняющей его от пружинящего действия пружины 25 сжатия. Пружина 25 сжатия огибает стержень предустановочного винта 23 и своим нижним концом располагается в глухом отверстии 22, выполненном в дне корпуса, а своим верхним концом примыкает книжней стороне головки 26 предустановочного винта 23, Конец установочного винта 18 располагается на верхней стороне винтовой головки 26. Вследствие симметричности параллельного качающегося рычага другая подвижная де 1 (таль 7 имеет буртик 16 с резьбовым отверстием 17 . Предустановочный винт 23 окружен пружиной 25 , распо ложенной симметрично относительно центра корпусов 19, 19С помощью установочных винтов 18,(венно 25 , а также резьбовых гаек 24 и, соответственно, 24 предварительно устанавливается усилие, необходимое для поворота параллельного качающегося рычага устройства для напрес совки пленки.Если винт 18 (фиг1) ввинчивается дальше в резьбовое отверстие 17, то пружина 25 сильнее сжимается отжатым вниз предустановочным винтом 23 и со ответствующей регулировкой резьбовой гайки 24 удерживается в желаемом положении. Чем сильнее сжимается пружина 25, тем больше усилие, которое необходимо сообщить, чтобы повернуть 30 параллельный качающийся рычаг из его положения наружу, т.е. давление напрессовывания, которое устройство для напрессовки пленки оказывает на подложку при ее прохождении через 35 зазор Й между напрессовочными валками 2 и 3, тем больше, чем сильнее(сжаты пружины 25, 25 , Пружины сжатия,25, 25 имеют в целом линейную характеристику, однако могут иметь 40 также характеристику, отличающуюся от линейной.Подвижные детали 7, 7 образуют параллельный качающийся рычаг иэ торсионной трубы 4 и напрессовочного 45 валка 2, который обеспечивает при увеличении зазора абсолютное параллельное перемещение подвижного на прессовочного валка 2 по отношению к неподвижно закрепленному напрессо вочному валку 3, Торсионная труба 4 передает совершенно равномерно по всей длине поворот подвижного напрессовочного валка 2, вследствие чего создается сквозной постоянный зазор. Неподвижно установленные шестерни 27 и 28 через шестерню 29, которая при повороте напрессовочного валка 2 остается в зацеплении с второй шестерней 30, обеспечивают одинаковую скорость вращения, которое получает жестко закрепленный.напрессовочный валок 3 от двигателя 31. Это вращение через шестерни 27-30 передается повернутому напрессовочному валку 2, даже если первая шестерня 29 не находится в зацеплении с второй шестерней 30. Благодаря этому обеспечивается всегда постоянная скорость вращения обоих напрессово,ных валков 2 и 3.На вал 32 напрессовочного валка 2 насажена шестерня 30, находящаяся в зацеплении с шестерней 27, расположенной на ступенчатом конце торсионной трубы 4. Шестерни 30 и 27 находятся между наружными поверхностями детали 7 параллельного качающегося рычага и внутренней поверхностью боковины 9.В другом варианте исполнения подложка сверху в вертикальном направлении вводится в зазор между двумя напрессовочными валками 2 и 3. Торсионная труба 4 своей осью 33 закреплена в.боковинах 8 и 9 рамы 1. На правой стороне на торсионную ось 33 насажена третья шестерня 27, сбоку входящая в зацепление с четвертой шестерней 28 на валике 34 и с второй шестерней 30, расположенной над ней на валу 32 напрессовочного валка 2, Первая шестерня 29 насажена на вал напрессовочного валка 3, приводимого в действие двигателем 31.В этом варианте исполнения параллельный качающийся рычаг поворачивается с помощью пневмоцилиндра 35,. который укреплен на выступе 36 основания рамы 1 и шток 37 поршня которого примыкает к эаконтренному винту 38, проходящему по плечу 39 рычага, Плечо 39 рычага соосно соединено с торсионной трубой 4, например, приварено к ней. Принцип работы пневмоцилиндра 35 соответствует приципу работы пневмопружины, которая с постоянным давлением выдавливает плечо 39 рычага вверх и поворачивает параллельный качающийся рычаг иэ напрессовочного валка 2, торсионной трубы( 4 и подвижных деталей 7, 7 до тех пор, пока установочный винт 40 не коснется упорной поверхности 41 неподвижной детали 6. Входящая в зазор между напрессовочными валками 2 и 3 подложка 42 немного толще зазора и отжимает напрессовочный валок 2 итем самым параллельный качающийся рычаг в виде полукруга налево вниз таким образом, что плечо 39 рычага поворачивается вниз и винт 38 вдвигаетшток 37 поршня цилиндра в пневмоцилиндр 35 до тех пор, пока не установится равновесие между давлением вцилиндре и давлением, которое параллельный качающийся рычаг оказываетчерез плечо 39 рычага на шток поршняцилиндра. В этом состоянии равновесия напрессовочный валок оказываетна подложку достаточное давление напрессовывания,Устройство работает следующим образом.Подложка 42 сверху в вертикальномнаправлении вводится в зазор междудвумя напрессовочными валками 2 и 3,отжимает напрессовочный валок 2 итем самым параллельный качающийся рычаг в виде полукруга вниз таким образом, что плечо 39 рычага поворачивается вниз и винт 38 вдвигает шток 37поршня цилиндра до тех пор, пока неустановится равновесие между давлением в .цилиндре и давлением, котороепараллельный качающийся рычаг оказывает через плечо 39 рычага на штокпоршня цилиндра 35,Формула изобретения1. Устройство для напрессовки пленки, преимущественно при нанесении фоторезиста, содержащее раму с нагреваемыми прессующими валками, установленными в подшипниках, при этом один йз прессующих валков соединен .с приводом его перемещения в виде пневматического механизма и кинематически связан при помощи шестерен с приводом его вращения, а каждыйпрес- сующий валок соединен .с токоведущими зажимами, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью улучшения эксплуатационных возможностей путем изменения зазора между валками, оно снабжено Г-образным качающимся рычагом с опорами, установленным на оси, а подвижный прессующий валок установлен на опорах одного из плеч Г-образногорычага параллельно его оси, при этомдругое плечо 1"-образного рычага выполнено с возможностью вэаимодействия с пневмоцилиндром или пневматической пружиной, установленной нараме.2. Устройство по п.1, о т л и -ч а ю щ е е с я тек, что оно снабжено механизмом регулирования зазорамежду валками, выполненным в видевинтов, ввинченных в раму с возможностью взаимодействия головками винтов с опорами рычага.3. Устройство по п.1, о т л и -ч а ю щ е е с я тем, что каждая опора рычага выполнена с посадочным отверстием, в котором размещен шарикоподшипник, и снабжена винтом, ввернутым в опору с возможностью взаимодействия с подшипником,4, Устройство по п,1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что каждая опора рычага снабжена выступом с установочным винтом.5, Устройство по п.1, о т л и -ч а ю щ е е с я тем, что оно снабжено сферическим или цилиндрическимкорпусом с подпружиненным винтом,размещенным в его отверстии, при этомна конце винта, выходящем из отверстия корпуса, навернута гайка; пружина одним концом опирается на дно корпуса, а другим концом - на нижнюю поверхность головки винта;6. Устройство по п.1, о т л и -ч а ю щ е е с я тем, что двигательпривода размещен на раме и при помощи шестерни кинематически связан сшестернями, установленными на осиГ-образного рычага и,на валу чрессующего валка.7. Устройство по п.2, о т л и -ч а ю щ е е с я тем, что механизмрегулирования зазора в виде винтоврасположен после прессующих валковили перед прессующими валками. 5 10 15 20 25 30 3540 45 8. Устройство по п.1, о т л и -БОгч а ю щ е е с я тем, что Г-образныйрычаг снабжен винтом, ввинченным в одно иэ его плеч с воэможностью взаимодействия со штоком пневмоцилиндра.Корректор Н.Король Тираж 776 Подпис но е при ГКНТ СССР Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул. Гагарина Заказ 2172/59 ВНИИПИ Государственно 11303омитета по изобретениям и открыти осква, Ж"35, Раушская наб., д. 4/