Устройство для визуального контроля микроструктур на полупроводниковой пластине

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскикСоциапистичвскииРеспублик и 924778(22) За о 30,0. 75 (21) 2164488/18-21с присоединением заявки Левво делам изобретеккк н открытки(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВИЗУАЛЬНОГО КОНТРОЛЯМИКРОСТРУКТУР НА ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПЛАСТИНЕ Изобретение относится к электрон. ной промышленности, в частности к установкам визуального контроля микроструктур по внешнему виду на полупроводниковой пластине после разбраковки их по электрическим параметрам. фИзвестна установка визуального контроля, содержащая микроскоп, механический привод накопителей приборов для подачи в рабочую зону 1 1.то Основными недостатками данной ус.тановки являются как ограниченные функциональные воэможности в связи с тем, что с помощью ее несуществим визуальный контроль микроструктур на пластине, так и малая производительность (составляющая не более 1500 приборов/ч) из-за отсутствия автоматизации процесса контроля.Наиболее близким к предлагаемому является устройство для визуального контроля микроструктур, содержащее станину, предметный стол, оптическую систему, электропривод перемещения стола, блок управления 2"1,Однако конструкция устройства не позволяет производить выборочный визуальный контроль микроструктур, т.е. производится контроль всех сигналов, в том числе и тех, которые отбракованы на предыдущих операциях, что снижает производительность работы уст" ройства.Цель изобретения - увеличение производительности устройства.Поставленная цель достигается тем, что устройство для визуального контроля микроструктур на полупроводникот вой пластине, содержащее станину, ттредметный стол, оптическую систему, электропривод перемещения стола, блок управления, снабжено блоком считывания - записи информации, выполненным в виде пластины-держателя, жестко соединенной с предметным столом, и установленных над ней зондов-пуансо. нов с механизмами их перемещения,92477 причем рабочие концы пуансонов выполнены ступенчатыми.На фиг. 1 изображено устройство, общий вид (вид сбоку в разрезе); на фиг. 2 - устройство, общий вид (вид сверху, разрез А-В); на фиг. 3 - зонд- пуансон в положении считывания информации (разрез Б-Б на фиг, 1); на фиг, 4 - зонд-пуансон в положении записи информации; на фиг. 5 - фото датчик с осветителем (разрез В-В на фиг. 1).Предлагаемое устройство содержит предметный стол 1, электроприводы 2 и 3 шагового перемещения стола, элек тропривод 4 вертикального перемещения, зонд-пуансонов 5-7, эксцентриковый вал 8, электромагниты 9-11. Зонд-пуансон 5 взаимодействует с рычагами 12 и 13, аналогичная система рычагов (не показана) взаимодействует с зондами 6 и 7, пластина-держатель 14 ,жестко соединена с предметным столом 1.Визуальный контроль осуществляется с помощью микроскопа 15. Зонды-пуансоны 5-7 выполнены из стержней 16 и 17 большего диаметра (16) и меньшего диаметра (17 (фиг. 3 и фиг. 4). Для управления шаговым перемещением предметного стола 1 служат фотодатчики с осветителями по числу зондов-пуансонов (на фиг. 5 показан один фотодатчик 18 и осветитель 19).Устройство работает следующим образом.35Проверяемая визуально полупроводниковая пластина 20 с микроструктурами располагается на предметном столеНа пластине-держателе 14 фиксируется перфокарта 21 с записанной ранееюо информацией о годности микроструктур полупроводниковой пластины 20 по электрическим параметрам (отверстие в перфокарте означает брак данной микроструктуры).45В исходном положении электромагнит 9 включен в зонд-пуансон 5,притянут к сердечнику электромагнита благодаря наличию зазора между зондом-пуансоном 5 и рычагом 12. При перемещении предметного стола 1 на шаг электро 50 магнит 9 отключается и зонд-пуансон 5 опускается, Если при этом на перфокарте 21 в месте нахождения зонда- пуансона 5 будет отверстие, что свидетельствует о браке кристалла микроструктуры по электрическим параметрам, рабочая часть зонда пуансона 5 меньшего диаметра (стержень 17) опус 8кается ниже уровня перфокарты 21(фиг. 3). Рычаг 12 перекрывает отверстие осветителя 19, Фотодатчик 18(фиг, 5), подает одновременно сигнал на электромагнит 9 и на привод 2 илипривод 3 шагового перемещения предметного стола 1, который в результате этого перемещается на шаг, В случае, если на перфокарте 21 в местеопускания зонда-пуансона 5 отсутствует отверстие, рабочая часть зонда-пуансона 5 меньшего диаметра (стержень17) остается на уровне перфокарты 21,отверстие рычага 13 совпадает с отверстием осветителя 19 (фиг. 5) ифотодатчик 18 подает сигнал остановки предметного стола 1. Оператор спомощью микроскопа 15 осуществляетпросмотр микроструктуры на пластине20 и в случае обнаружения брака повнешнему виду подает сигнал на привод 4, эксцентриковый вал 8 посредством рычага 12 перемещает зонд-пуансон 5 таким образом, что рабочая часть зонда-пуансона 5 большего диаметра (стержень 16) опускается ниже уровня перфокарты 21, пробивая в ней отверстие (фиг. 4), и этим вносит дополнительную информацию о браке прибора по внешнему виду.Количество зондов-пуансонов 5 определяется числом групп разбраковываемых приборов (в данном случае 3 зонда-пуансона, позволяющие классифицировать приборы на 8 групп).Примером конкретного выполнения и применения устройства может быть применение его на операциях контроля статических параметров полупроводниковых приборов с регистрацией на перфокарте или перфоленте, а также на финишных операциях контроля по внешнему виду и геометрическим размерам фотошаблонов с оперативным выявлением дефектов и дальнейшей маркировкой годных фотошаблонов. Предлагаемое устройство дает возможность получать оперативную информацию о производительности, проценте выхода годных изделий и одновременно вносить корректировку в режимы обработки изделий с целью уменьшения брака.Экономический эффект от использования предлагаемого устроиства заключается в том, что если раньше обрабатывалось 7 пластин/ч, то с применением устройства, обрабатываются от 225 924778 Ьдо 26 пластин/ч, т, е. производитель- ненным в виде пластины-держателя, ность повышается более чем в 3 раза. жестко соединенной с предметным сто"лом, и установленных под ней зондов- пуансонов с механизмами их перемещеФормула изобретения 5 ния, причем рабочие концы пуансоноввыполнены ступенчатыми.Устройство для Визуального контроля микроструктур на полупроводниковой пластине, содержащее станину, поедметный стол, оптическую систему, 1 о электропривод перемещения стола, блок управления, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью увеличения производительности, оно снабжено блоком считывания-записи информации, выпол Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Установка модели НВК. "Электронная промышленность, 1976 й 3 с. Ь 6.2. Патент С 1 ИА 8 3185927, кл, 321-158, опублик. 1965 (прототип).924778 г,Ф Волковелевич Корректор ставителхред Ж.Азятко дактор Ю. Середа каз 2829/ тент", г, Ужгород, ул. Проектная,Филиап П ВНИИП по 13035, аж 758осударственноголам изобретенийсква, Ж, Рау Подписноекомитета СССРи .открытийская наб д 4