Пьезоэлектрический резонатор

)5 Н ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИАВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛ ЬСТВУ. Пьезоэлеы, М.: Рад ческие кварсвязь, 1981,идетельство ССС 03 Н 9/85, 1988. ся к области раытьиспользовано ойствах стабилиОСУДАРСТВЕННЪЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР Изобретение относитдиоэлектроники и может бв пьезоэлектрических устрзации частоты.Известны конструкции пьезоэлектрических резонаторов (КР). Неотъемлемой составляющей КР является пьезоэлемент (ПЭ). Известные ПЭ, как правило, содержат кварцевую пластину (кристаллический элемент), возбуждающие электроды, токопроводящие элементы, соединяющие электроды ПЭ с выводами внешней цепью; и элементы крепления в кварцедержателе.Для умен ьшения уходов частоты данных ПЭ, вызванных старением, при их производстве выполняются операции тщательной обработки кварцевых пластин (шлифовка, полировка, травление), уделяется особое внимание нанесению электрического покрытия, креплению ПЭ в кварцедержателе, осуществляется термическая обработка ПЭ. Однако долговременная стабильность известных(даже прецизионных КР), несмотря на все принятые при их производстве меры, остается на уровне, не всегда удовлетворяющем потребителя.(54) ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ РЕЗОНАТОР (57) Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано в пьезоэлектрических устройствах стабилизации частоты. Цель изобретения - повышение долговременной стабильности частоты пьезоэлектрического резонатора, Сущность изобретения заключается в создании в компенсационных поясках предварительного напряжения нужного диска, для этого используют материал, коэффициент термического расширения которого отличен от коэффициента термического расширения кварца. 3 ил. Наиболее близким к предлагаемому является пьезоэлектрический резонатор, со- (Я держащий, закрепленный в кварцедержателе пьезоэлемент с колебаниями сдвига по толщине, выполненный в виде кристаллической пластины круглой формы из монокристалла кварца, на главных гранях которой расположены возбужда- - ф ющие электроды и пленочные отводы, а на ее боковой поверхности расположены два ( 1 основных электроконтактных пояска, угол расположения каждого из которых относительно кристаллофизической оси Х меньшеюаей угла расположения соответствующей точки закрепления пьезоэлемента в кварцедержа- Отеле относительно той же кристаллофизической оси, а конец каждого из них совпадает с наиболее удаленным от него краем соответствующего пленочного отвода, с целью повышения долговременной стабильности частоты, ПЭ снабжен двумя дополнительными компенсационными поясками, выполненными из того же материала, что и основные электроконтактные пояски, и расположенными на торцовой грани кристаллической пластины симметрично основнымэлектроконтактным пояскам, Однако данные дополнительные компенсационные пояски позволяют компенсировать только уходы частоты, вызываемые релаксацией механических напряжений в электроконтактных поясках ПЭ контактного узла КР, и не позволяют компенсировать уходы частоты КР, вызываемые при его старении иными причинами (например, необратимыми процессами в кристалле кварца, металлических пленках и т,п.).Целью изобретения является повышение долговременной стабильности частоты пьезоэлектрического резонатора.Поставленная цель достигается тем, что в пьезоэлектрическом резонаторе, содержащем закрепленный в кварцедержателе ПЭ с колебаниями сдвига по толщине, выполненный в виде кристаллической пластины круглой формы из монокристалла кварца, на боковой поверхности которой расположены два диаметрально противоположных предварительно напряженных компенсационных пояска, меньшая из угловых координат середин компенсационных поясков, отсчитываемая от кристаллофизиФческой оси Х, угловой размер и толщина каждого из компенсационных поясков, а также знак тангенциальной составляющей предварительного напряжения в компенсационных поясках выбраны из условияфо +7СОДК(Р ) б Р = - - (1)фо 7где ф - текущая угловая координата, отсчитываемая от кристаллофизической оси Х, рад;К(ф ) - функция зависимости силового коэффициента частоты пьезоэлемента от текущей угловой координаты ф, м с/Н;фо - меньшая из угловых координат середин компенсационных поясков, отсчиУ тываемая от кристаллофизической оси Х, рад.;2 у - угловой размер компенсационного пояска, рад.;д - толщина компенсационного пояска, м;С - средний относительный уход частоты за фиксированный промежуток времени Т(например, за 1 год) послетехнологического прогона пьезоэлектрического резонатора с таким же пьезоэлементом, но не содержащим компенсационных поясков;О - диаметр пьезоэлемента, м;0 - тангенциальная составляющая предварительного напряжения в компенсационных поясках, Н м; ст 0,01 (О(О 005Ьст - средняя величина изменения тангенциальной составляющей механиче 5 10 15 20 30 35 40 45 50 55 ских напряжений в контактных поясках за промежуток времени Т после технологического прогона, зависящая от материала пояска, Н м ; Ьст О, если предварительное напряжение о растягивающее, т,е, о ) 0; Лд ) О, если предварительное напряжение п сжимающее, т,е, о0):К - частотный коэффициент применяемого в пьезоэлементе среза кварца, м с" .Сущность изобретения состоит в том, что нз боковых гранях ПЭ расположены два предварительно напряженных компенсационных пояска, причем меньшая из угловых координат середин компенсационных поясков, отсчитываемая от кристаллофизической оси Х 1, толщина, угловой размер и знак тангенциальной составляющей предварительного напряжения в компенсационных поясках выбраны из условия (1), что обеспечивает создание в ПЭ таких механических напряжений, релаксация которых приводит за фиксированный промежуток времени Т (например, 1 год) после технологического прогона к уходу частоты, равному.по величине, но противоположному по знаку среднему уходу частоты за тот же промежуток времени Т после технологического прогона КР с таким же ПЭ, но без компенсационных поясков. 8 результате уход частоты существенно уменьшается, и, следовательно, повышается долговременная стабильность частоты пьезоэлектрического резонатора,На фиг.1 изображен пьезоэлемент КР; на фиг,2 графически показаны силы, воздействующие на поясок; на фиг.3 - силы, действующие на пьезоэлемент со стороны пояска,На фиг.1 обозначены кварцевая пластина П Э 1, электроды 2 (изображен ы нап ыленными на кварцевую пластину, но в общем случае они могут быть как любой конфигурации, так и выполненными с зазором с кварцевой пластиной), электроконтактные пояски 3, места пайки 4, компенсационные пояски 5,Элементы 3, 4 определяются конструкцией КР и в общем случае могут отсутствовать.При выбранном в соответствии с условием (1) знаке величины Ло обеспечивается необходимый знак предварительного напряжения в пояске 5, Следует учесть, что знаки величины Ло и тангенциальной составляющей предварительного напряжения сг в компенсационном пояске противоположны. Например, если знаки левой части в формуле (1) и относительного ухода частоты С не совпадают, то Ьо О, т,е. предварительныетангенциальные напряжения в компенсационном пояске должны быть растягивающими.Так как величина Ло 1 практически не зависит от уровня предварительного напряжения о в компенсационных поясках, то не требуется высокая точность при создании предварительного напряжения, а требуется лишь, чтобы это предварительное напряжение о имело определенный знак и вызывало пластическую деформацию пояска. Поэтому в качестве нижней границы дляо 1 следует выбирать значение оо,о 1 предела упругости при я=0,01 ( о - абсолютная величина деформации компенсационного пояска), т.е, величину напряжения, которой отвечает остаточная деформация 0,01 О. Для того, чтобы не вызывать слишком большой деформации по. яска и ограничить локальное механическое воздействие со стороны поясков на кристаллическую пластину, в качестве верхней границы для о следует выбирать значение оо,о 5.Созданные в компенсационных поясках начальные напряжения стабилизируются после термотренировок, Затем в процесе технологического прогона в режиме возбуждения и температуры, близких к эксплуатационным, происходит снижение начальных напряжений - это первый этап релаксации напряжений(0 (г (то ), когда оно быстро изменяется. При т = то начинается второй этап релаксации напряжения, на котором скорость уменьшения напряжения уже значительно ниже. Эксплуатация КР начинается при г = г 1 ) то.Уменьшение растягивающих напряжений в пояске эквивалентного приложению дополнительных сил Р со стороны ПЭ (фиг.2). При этом возникают также нормальные усилия ц, существование которых вытекает из рассмотрения равновесия пояска, условно отделенного от ПЭ. Из условия равновесия вытекает: 1 р 1= 1 ц 1. Соответственно, со стороны пояска на ПЭ действует противоположная дополнительная нагрузка ц (фиг.З).При релаксации напряжений в предварительно растянутом пояске напряжение о в нем уменьшается за фиксированный промежутоквремениТ: Ьо(0. В этомслучае величина ц = Лгт Ь д, где Ь - толщина ПЭ, - отрицательна, а противоположная величина ц положительна, что отвечает растягивающим силам, действующим на ПЭ (фиг,З).Если же поясок сжат, то при релаксации напряжения 1 о 1 убывает и Ло) 0; В результате силы ц, действующие на ПЭ, окажутся сжимающими (ц 0 ).Как показывает расчет, силы Р практически не дают напряжений в центре ПЭ.5 Поэтому уход частоты определяется толькосилами ц.Уход частоты КР, вызываемый силами ц(фиг.З), определяется выражениемЛ 1 о ф+10 - = - "цК(Здесь Ь - основная частота КР.Так как для ПЭ, имеющего форму кругМлой пластины, Ь = - то учитывая, что ц = 15 . т 0= Ло Ь д и ц = -ц, окончательно получим:д -од+,20Для компенсации необходимо, чтобыбыло - = - С , откуда и получается усЬ 1ловие (1),Наличие в ПЭ компенсационных поясков, размер и толщина которых, их положение на боковой поверхностикристаллической пластины, а также знактан генциальной составляющей предварительного напряжения в них выбраны из условия (1), обеспечивает компенсациюуходов частоты, вызванныхстарением КР.Таким образом, повышается долговременная стабильность кварцевых резонатоРовДля уменьшения угловых размеров компенсационных поясков их угловое местоположение на боковой поверхности ПЭследует выбирать в тех областях, где функ 40 ция К(ф) имеет максимальное или минимальное значение, Причем точку минимумафункции К(ф выбирают в тех случаях, когдав этой точке КфР ) О (например, для ПЭсреза АТ),Зависимость Кф ) у различных срезовкварца, применяемых в ПЭ, может быть различной, Она может изменять знак; а можетсохранять знак при всех значениях углов фВ последнем случае для уменьшения угловых размеров компенсационных поясков,их угловое местоположение на боковой поверхности ПЭ выбирают таким, чтобы уголфЪ соответствовал максимуму модуля функции К(ф ).При совпадении знаков функции Кф/г )и относительного ухода частоты С. Ьо )О,В этом случае пояски предварительно сжаты. В процессе релаксации дополнительна.нагрузка на поясок соответствует фиг.Здействие пояска на ПЭ - фиг.2. Сжимающисилы ц, действующие на ПЭ(фиг.2), приведут к относительному уходу частоты, знак которого противоположен знаку функции Кф/), т,е, противоположен и знаку С, как и требуется,Если же знаки функции К(ф ) и относительного ухода частоты С противоположны, то Ьо 0. В этом случае дополнительная нагрузка на ПЭ со стороны пояска в процессе релаксации напряжений (фиг.З) содержит растягивающие силы ц, что приводит к уходу частоты, совпадающему по знаку со знаком Кф) ), т.е. противоположному по знаку уходу С.Выбор величины фЬ и знака Ь(т,обеспечивающий компенсацию ухода С, следует производить, используя следующее изусловия (1) соотношениеК( ф 0) ЬО С О, (2) после чего определяют толщину и угловой размер 2 компенсационного пояска из зависимости,ф+ удХ К=-, - ; (3)Ч) у.уже не обращая внимания при расчете на знаки левой и правой частей зависимости (1),Если зависимость К(ф) знакопеременна, как это имеет место для срезов АТ,Т, ЯС, то для компенсационных поясков можно использовать как вариантс Ло) О, так и вариант с ЬоО, выбирая угловую координату Ч)0 так, чтобы удовлетворялось соотношение (1),Создать предварительное напряжение нужного знака в компенсационных поясках можно используя для них материал, коэффициент термического расширения ап которого отличен от коэффициента термического расширения кварца ав точках боковой поверхности ПЭ, отвечающих серединам компенсационных поясков, в тангенциальном направлении. При нанесении пояска на боковую поверхность кристаллической пластины путем вжигания, после остывания в пояске возникнут растягивающие напряжения ( 0)0), если а,аи сжимающие напряжения (о0 ), если а,а.В частности, можно использовать материал, широко применяемый при изготовлении КР - серебросодержащую пасту, у которой ап ) акв При этом, так как (т О и, значит, ЬоО, то угловую координату ф 0 определяют таким образом, чтобы знаки К(ф) и С были противоположными.При старении КР средний уход(относительный) их частоты С за фиксированное время Т может быть как положительным, так и отрицательным. Если средний относительный уход частоты С положительный, то угол ф выбирают соответствующим минимуму функции К( ф), а если средний относитель ный уход частоты С отрицательный, то уголф 0 выбирают соответствующим максимуму функции Кфф).П р и м е р. Примем в качестве материала компенсационных поясков серебросо держащую пасту, для которой ап )ащ,Втаких поясках величина ЛоО, У кварцевых резонаторов, ПЭ которых изготовлены обычным способом (т,е. без компенсационных поясков), после их технологического 15 прогона Определяют средний Относительный уход частоты С за фиксированный промежуток времени Т (например, за 1 год). Из выражения (2) находится меньшая из угловых координат 1/)О середин компенсационных поясков, отсчитываемая от кристаллофизической оси Х . Из выражения (3) определяется толщна д и угловой размер 2 у компенсационного пояска. На боковой поверхности ПЭ в местах, соответствующих ф 0 вжигаются пояски, имеющие угловые размеры 2 у и толщину д.Формула изобретения Пьезоэлектрический резонатор, содержащий закрепленный в кварцедержателе пьезоэлемент с колебаниями сдвига по толщине, выполненный в виде кристаллической пластины круглой формы из монокристалла кварца, на боковой поверхности которой расположены два диаметрально противоположных предварительно напряженных компенсационных пояска, о тлича ющий ся тем,что,с целью повышения долговременной стабильности частоты пьезоэлектрического резонатора, меньшая из угловых координат середин компенсационных поясков, отсчитываемая от кристал/лофизической оси Х, угловой размер и толщина каждого из компенсационных поясков, а также знак тангенциальной составляющей предварительного напряжения в компенсационных поясках выбраны из условияфо +уСОд ) к(р)б)р=. ---50 фо - угде ф - текущая угловая координата, отсчитываемая от кристаллофизической оси Х, рад;К 1(ф ) - функция зависимости силовогокоэффициента, частоты пьезоэлемента от текущей угловой координаты ф, м/с/н;1/Ъ - меньшая из угловых координатсередин компенсационных поясков, отсчитываемая от кристаллофизической оси Х, рад;2 у - угловой размер компенсационного пояска, рад;С - средний относительный уход частоты за фиксированный промежуток времени Т(например, за 1 год) после технологического прогона пьезоэлектрического резонатора с таким же пьезоэлементом, но не содержащим компенсационных поясков;О - диаметр пьезоэлемента, м;о-тангенциальная составляющая предварительного напряжения в компенсационных поясках, Н м; уо,о 1 (О(уо,о 5 Ло - средняя величина изменениятангенциальной составляющей механических напряжений в компенсационных поясках за промежуток времени Т после 5 технологического прогона, зависящая отматериала, Н мЛоО, если предварительное напряжение сг- растягивающее, т,е, сг; 0;Ьсг О, если предварительное напря жение о - сжимающее, т.е. и 0;М - частотный коэффициент применяемого в пьезоэлементе среза кварца, м со - толщина компенсационного пояска, м.