Устройство для совмещения фотошаблона и заготовки

(56) 1. Николаев И,М. Оборудование и технология производства полупроВодниковых материалов, М., "Высшая школа", 1977, с. 170.2. Авторское свидетельство СССР В 225692, кл. С 03 В 27/44, 1967 (прототип).(54) (57) УСТРОЙСТВ ФОТОШАБЛОНА И ЗАГО корпус, в котором тель фотошаблона, столом, снабженным соблением и связан ДЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ ОВКИ, содержащее становлен держаасположенный над зажимным приспоым с механизмами юУе Ли Б ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПОДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ОПИСАНИЕ К АВТОРСКОМУ С горизонтального и вертикального перемещения, а также фиксатор, связанныйс механизмом вертикального перемещения, о т л и ч а ю щ е е с я тем,что, с целью повышения производительности и точности совмещения, в неговведена установленная над столомс возможностью поворота и вертикального перемещения рама, на которойрасположен держатель фотошаблона;а зажимное приспособление выполненов виде расположенной в центре столацанги, в которой установлен цилиндрс расположенным в нем разжимным конусом, связанным с механизмом вертикального перемещения, при этом надержателе фотошаблона установленыупоры, контактирующие с ответнымиэлементами, расположенными на столе.109930Изобретение относится к приборостроению, а именно, к устройствам для точного и многократного перенесения рисунка фотошаблона на заготовку и может быть использовано, например, 5 при изготовлении ротора и статора индуктивного датчика круговых перемещений.Известно устройство для совмещения фотошаблона и заготовки, содержащее стол с микровинтами для его перемещения по двум взаимно перпендикуляр-ным направлениям в горизонтальной плоскости, сферический стол с вакуумным присосом для установки и крепления заготовки, фотошаблон и кассету для его крепления и оптическую систе.му для наблюдения за процессом совмещения 11 .20Недостатки известного устройства состоят в сложности конструкции, вызванной наличием вакуумной установки и оптической системы, низкой производительности,погрешности совмещения 25 иэ-за участия оператора и наличии зазора между фотошаблоном и заготовкой в момент совмещения.Наиболее близким техническим ре-. шением к предлагаемому является устройство, содержащее корпус для закрепления фотошаблона, стол, снабженный винтовыми манипуляторами горизонтального перемещения во взаимно перпендикулярных направлениях, кли 35 новой манипулятор вертикального перемещения стола с заготовкой, оптическое устройство для визуального наблюдения за процессом совмещения фото- шаблона и заготовки и осветитель 2 .40Недостатки данного устройства заключаются в его сложности, низкой производительности, вызванной необходимостью повторного совмещения при смене заготовки, и погрешности установки заготовки.Цель изобретения - повышение производительности и точности совмещения фотошаблона и заготовки.Указанная цель достигается тем,50 что в устройство для совмещения фото- шаблона и заготовки, содержащее кор" лус, в котором установлен держатель фотошаблона, расположенный над столом, снабженным зажимным приспособлением и связанным с механизмами го 55 ризонтального и вертикального перемещения, а также фиксатор, связанный с механизмом вертикального перемещения, введена установленная над столом с возможностью поворота и вертикального перемещения рама, на которойрасположен держатель фотошаблона,а зажимное приспособление выполненов виде расположенной в центре столацанги, в которой установлен ципиндрс расположенным в нем раэжимным конусом, связанным с механизмом вертикального перемещения, при этом на держателе фотошаблона установлены упоры,контактирующие с ответными элс,ентами, расположенными на столе.На фиг. 1 схематично показаноустройство; на фиг, 2 - сечение А-Ана фиг, 1; на фиг. 3 - вид Б на фиг.1;.на фиг. 4 в . вид В на фиг. 2,Устройство содержит корпус 1, на верхней грани которого крепится стол 2 - цилиндр с круглым и квадратным фланцами и жестко закрепленной в центре цангой 3. Внутри цанги закреплен направляющий цилиндр 4 для разжимного конуса 5 с пружиной 6, соединяющей конус 5 с направляющим цилиндром 4, На корпусе 1 жестко установлены упоры 7 с базовыми поверхностями, образующими прямой угол, а параллельно сторонам этого угла в контакте по поверхностям прямоугольного фланца стола установлены клиновые механизмы 8 с микровинтами 9. В нижней части корпуса 1 (фиг. 3) размещен вал 10 с жестко посаженным на одном его конце рычагом 11, в средней части - кулачком 12, на который опирается через ролик 13 рычаг 14 подъема раэжимного конуса 5 цанги 3. На втором конце вала 10 (фиг. 4) закреплен кривошип 15, который через ролик 16 контактирует с рычагом 7, один конец которого посажен на ось, установленную в корпусе, а второй - контактирует с направляющим штоком 18 рамы, вставленным в направляющий подшипник 19, который установлен в цилиндрическом вертикальном отверстии корпуса 1, На правой стенке корпуса (фиг. 3) установлены направляющие 20 замка рамы, которая одним углом жестко закреплена на верхней части направляющего штока 18. На раме установлен винт 21 замка рамы с кольцевой проточкой на его конце, которая находится в контакте с направляющими 20Кроме того, на раме при помощи пружин 22 установлен самоустанавлинающийгя держатель 23 фотошаблона 24, имеющий базовые упоры 25, которые находятся в контакте с рабочими поверхностями упоров 7 на корпусе, Рама, в свою очередь, соединеначерез упорный подшипник 26 и пружину 27, проходящую через направляющийшток, с корпусом устройства. Заготовка 28 фиксируется на столе 2 цангой 3,Устройство работает следующимобразом.В исходном положении рычаг 11 вала 10 находится в горизонтальном положении (фиг. 3), рама с держателем 23 фотошаблона 24 - в крайнемнижнем положении, а винт 21.замкарамы - в направляющих 20 замка, рычаг 14 подъема разжимного конуса - наминимальном диаметре кулачка ф 12,вследствии чего цанга разжата. Длязагрузки заготовки вал 10 поворачивают по часовой стрелке рычагом 11,при этом кулачок 12 поворачиваетрычаг 14 подъема конуса 5 и цанга 3сжимается. Кривошип 15 поворачиваетрычаг 17,который поднимает направ-.ляющий шток 18 с рамой и держателем 23, при этом винт 21 выходит изнаправляющих 20 замка рамы. Рамуотводят вправо, на стол 2 укладываютзаготовку 28 и раму возвращают влеводо упора винта 21 в стенку корпуса.После этого вал 10 рычагом 11 поворачивают против часовой стрелки, Рычаг 14 поворачивается вниз, конус 5под воздействием пружины 6 опускается и разжимает цангу 3, фиксируя заготовку наф столе, кривошип 15 поворачивает рычаг 17, пружина 27 перемещает направляющий шток 8 с рамойтакже вниз, а упоры 25 держателяфотошаблона по контактным поверхностям упоров 7 на корпусе выходят наих вертикальные поверхности и, несколько сместившись под действиемпружин 22, фиксируются в рабочем по ложении. При движении рамы вниз фотошаблон 24 под действием пружины 27плотно прижимается к заготовке.Чтобы выставить центр цанги в нужное положение, выполняют пробный отпечаток к находят отклонение от концентричности основания заготовки иналоженного на него рисунка. Для внесения коррекции ослабляют болты крепления стола к корпусу (не показаны) 20 и при помощи клиновых механизмов перемещают стол в нужное положениеПо--сле этого устройство готово к многократному переносу рисунка фотошаблона на заготовку.25Предлагаемое устройство обеспечивает высокую точность и повторяемостьсовмещения рисунка фотошаблона и заготовки за счет того, что размеры между базовыми упорами и рисунком надержателе фотошаблона и между центромцанги для фиксации заготовки и рабочими поверхностями упоров на корпу се постоянны, а держатель: фотошаблонав момент совмещения. поджимается пружинами до соприкосновения своимиупорами с рабочими поверхностямиупоров на корпусе.ицкая да Заказ 43 Патент", г,ужгород, ул. Проектная,.Филиал 70/39 Тираж 464ВНИИПИ Государственного комитепо делам изобретений и о 113035, Иосква, Ж, Раушская наб дписноСССРытий